施芹
- 作品数：143 被引量：162H指数：9
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程更多>>
- sigma-delta PLL频率测量电路
- 本实用新型提供了一种sigma-delta PLL频率测量电路。该电路包括从输入端开始顺次设置的整形电路、鉴相器、环路滤波器、ADC和延迟环节，且延迟环节的输出端经过计数器反馈输入至鉴相器；整形电路将待测信号滤波、放大后...
- 夏国明裘安萍施芹石然苏岩丁衡高
- 文献传递
- 一种硅微机械陀螺驱动力耦合误差在线自校准系统
- 本发明公开了一种硅微机械陀螺驱动力耦合误差在线自校准系统，包括驱动检测接口电路、检测接口电路、比较器限幅电路、驱动极性反转电路、差分放大器、ADC模数转换器、数字处理器；驱动检测接口电路和检测接口电路将陀螺电极产生的电流...
- 赵阳施芹刘日升夏国明裘安萍
- 文献传递
- 硅微陀螺仪零偏稳定性的优化被引量：7
- 2014年
- 为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性,使其满足更高精度应用场合的需求,研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术。以典型Z轴硅微陀螺仪为例,对影响其零偏稳定性的主要因素:机械耦合误差、电路耦合误差、机械热噪声、接口电路噪声进行了完整分析,并从抑制零偏温度漂移及输出噪声两个角度提出了改善硅微陀螺仪零偏稳定性的设计原则。基于上述原则,优化设计了硅微陀螺仪的机械结构及接口电路。最后对所设计的硅微陀螺仪进行了零偏稳定性测试,以验证所提出优化设计原则的有效性。实验结果表明,4个测试组的硅微陀螺仪零偏输出均无明显漂移,且零偏稳定性在6(°)/h左右,达到了中等战术级水平。
- 赵阳裘安萍施芹夏国明赵健
- 关键词：硅微陀螺仪零偏稳定性机械耦合误差
- 双轴谐振式硅微加速度计
- 本发明公开了一种基于频率检测原理的双轴谐振式硅微加速度计，由上下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线；加速度计机械结构由质量块、外框架、两对完全相同的谐振器和八个完全相同的...
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- 硅微机械陀螺仪的机电接口模型分析被引量：4
- 2005年
- 建立了某种硅微机械陀螺仪的电路模型,分析了寄生电容对接口电路的影响。结果表明,合理的接口电路不仅消除了大部分的寄生电容的影响,而且减小了信号的衰减幅度,抑制了大部分的耦合信号和噪声信号。最后对接口电路进行了改进,除了保留以上的一些优点外,还减小了载波信号的变化和电源变化对电容分辨率的影响,提高了整个电路的分辨率。
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- 关键词：硅微机械陀螺仪寄生电容分辨率
- 一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统
- 本发明公开了一种MEMS陀螺性能预评估片上测试系统，该测试系统包括圆片测试探卡电路、数据采集卡和上位机数据采集系统。上位机数据采集系统控制数据采集卡输出模式控制电平，以切换圆片级MEMS陀螺的驱动回路闭环或检测回路闭环。...
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- 一种用于微惯性测量单元的减振结构
- 本发明提出一种用于微惯性测量单元的减振结构。包括壳体、支撑架、弹性减振环；所述壳体用于容纳所述支撑架和弹性减振环；所述支撑架外部设置有圆环形凸起，支撑架的内部空腔用于放置微惯性测量单元；所述弹性减振环为一个内壁开设有凹槽...
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- 工字型结构的硅微机械振动陀螺
- 本发明公开了一种工字型结构的硅微机械振动陀螺，用于测量垂直于基座水平的测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入和输出线的硅微陀螺仪封装盖板，中间层单晶硅片上制作的为陀螺仪机械结构，...
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- 一种MEMS器件残余应力的测量方法及其系统
- 本发明公开了一种MEMS器件残余应力的测量方法及其系统，将MEMS器件的机械结构和双端固支音叉谐振器集成形成同一个芯片上，利用双端固支音叉谐振器频率与其梁上的轴向应力具有相关性，通过测试双端固支音叉谐振器频率在每一道工艺...
- 施芹裘安萍夏国明
- 硅微角振动输出陀螺仪
- 本实用新型涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连...
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- 文献传递
