孟杰
- 作品数：11 被引量：5H指数：1
- 供职机构：吉林大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省青年科研基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学交通运输工程更多>>
- 具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法
- 具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法，属于聚合物热光开关制备技术领域。从下至上依次由衬底（1）、SiO<Sub>2</Sub>下包层（2）、波导芯层（3）、波导上包层（4）和微加热电极（5）五部分构成，微...
- 孟杰张大明王希斌孙健王菲孙小强
- 文献传递
- 断层泥中粘土矿物的转化及实验模拟研究——以大杨树盆地泥盆系泥鳅河组为例
- 本文以断层泥中粘土矿物为研究对象,通过野外样品分析获得了粘土矿物在断层带内的分布特征,并利用传统粘土矿物地质温度计推测断层活动所致温度小幅升高的数值;同时,结合室内高温高压水热实验和理论计算,为更清晰厘定粘土矿物转化过程...
- 孟杰
- 关键词：大杨树盆地断层泥粘土矿物有机质
- 一种具备分段采样功能的便携式定向软质岩、土采样器
- 一种具备分段采样功能的便携式定向软质岩、土采样器属于岩土采样技术领域，目的在于解决现有技术存在的不能对某个特定方向上的样品进行横向与纵向采集以及采集器沉重携带不便的问题。本实用新型包括：中枢管；活动套接在中枢管一端的定位...
- 李本仙李耀宗刘晓旸孟杰朱彤
- 文献传递
- 聚合物平面波导光开关的优化设计与制备
- 采用光纤作为传输媒介的光通信技术日渐成为满足当前飞速增长的通讯和数据传输的重要手段。相比于传统通信系统，光纤通信系统具有传输容量大、频带宽、传输损耗小、抗电磁干扰能力强和误码率低等优势。近年来随着数据通信和波分复用技术（...
- 孟杰
- 关键词：平面波导热光开关电光开关
- 文献传递
- 极化聚合物高速电光开关CPw行波电极的基础研究
- 本论文针对极化聚合物电光开关CPW(Coplanar Waveguide)行波电极进行了研究，详细分析了共面波导行波电极的各性能参数与其金属材料和各尺寸之间的关系，最终设计了以Al和Cu作为电极金属材料的CPW行波电极。...
- 孟杰靳琳曹子谏张大明
- 关键词：电光开关行波电极极化聚合物
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究
- 在聚合物集成光学器件制备过程中，等离子体干法刻蚀制备光波导是一项关键工艺。本文针对聚合物脊形结构波导进行电感耦合等离子体(ICP)各向异性刻蚀的研究，研究了不同刻蚀参数(源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体配比)下IC...
- 孟杰曹子谏靳琳张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性粗糙度
- 具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法
- 具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法，属于聚合物热光开关制备技术领域。从下至上依次由衬底（1）、SiO<Sub>2</Sub>下包层（2）、波导芯层（3）、波导上包层（4）和微加热电极（5）五部分构成，微...
- 孟杰张大明王希斌孙健王菲孙小强
- 文献传递
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究
- 在聚合物集成光学器件制备过程中,等离子体干法刻蚀制备光波导是一项关键工艺。本文针对聚合物脊形结构波导进行电感耦合等离子体(ICP)各向异性刻蚀的研究,研究了不同刻蚀参数(源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体配比)下IC...
- 孟杰曹子谏靳琳张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性粗糙度
- 文献传递
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究被引量：3
- 2011年
- 等离子体干法刻蚀是聚合物光波导制备过程中一项关键工艺.利用感应耦合等离子体各向异性刻蚀工艺制备了聚合物脊形结构波导,研究了不同工艺参量(源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体组分)对脊形波导刻蚀速率的影响.利用扫描电子显微镜对刻蚀后波导高度、侧壁垂直度及表面粗糙度进行分析,得到了高刻蚀速率和低粗糙度的优化工艺条件.实验结果表明:在其他工艺条件相同的情况下,刻蚀速率随着感应耦合等离子体源功率及偏置功率的增大而增加,随刻蚀腔室压强的增大而减小,随着Ar在O2/Ar混合气体中百分比的增大而先增大后减小.样品表面粗糙度会随着偏置功率及刻蚀腔室压强的增大而逐渐增加.在源功率350W,偏置功率50W,刻蚀腔室压强0.5Pa,O2/Ar流量配比40sccm/10sccm的条件下得到了侧壁陡直和表面平整的脊形聚合物光波导.
- 孟杰曹子谏靳琳孙小强张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性刻蚀速率
- 聚合物光波导刻蚀表面散射损耗的研究
- 本文选取聚甲基丙烯酸甲酯。甲基丙烯酸环氧丙酯(P(MMA-GMA))作为波导材料，利用有效折射率法计算了倒脊形波导单模传输条件，根据Tien理论分析了散射损耗与等离子体刻蚀后薄膜表面粗糙度的关系，利用原子力显微镜表征了感...
- 张琨孟杰王辉刘天际李彤孙小强张大明
- 关键词：散射损耗
