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付建中

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微机电系统
  • 1篇微制造
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇付建中
  • 1篇陈子辰
  • 1篇潘开林

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于快速成形的MEMS微制造技术被引量：3
2002年
评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性。对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形
潘开林陈子辰付建中
关键词：微制造微机电系统
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共1页<1>
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