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莫东
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
湛江师范学院物理科学与技术学院物理系
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发文基金:
湛江师范学院科学研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
梅芳
湛江师范学院物理科学与技术学院...
黄子康
湛江师范学院物理科学与技术学院...
肖世发
湛江师范学院物理科学与技术学院...
薛书文
湛江师范学院物理科学与技术学院...
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2篇
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电子电信
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2篇
离子注入
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ZNO薄膜
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XRD
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ZNO
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掺杂
机构
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湛江师范学院
作者
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莫东
2篇
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2篇
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2篇
黄子康
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梅芳
传媒
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湛江师范学院...
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2009
1篇
2008
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ZnO薄膜离子注入改性的研究进展
被引量:2
2009年
ZnO是一种在短波长光电器件领域有巨大应用价值的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,离子注入是常用的半导体掺杂技术,文章综述了国内外近年来离子注入技术在ZnO的n、p型掺杂等方面的研究进展。
薛书文
梅芳
肖世发
黄子康
莫东
关键词:
氧化锌
离子注入
掺杂
注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究
2008年
利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO:Mg薄膜,将能量56 keV、剂量1×1017ions/cm2的N离子注入到薄膜中.离子注入后,将样品在500-900℃的氮气中退火,利用X射线衍射(XRD)和光吸收研究了薄膜中缺陷的恢复过程.结果显示,离子注入层在600-900℃的退火过程中分解和蒸发现象明显,这个结果对利用离子注入技术制备p型ZnO有很重要的意义.
薛书文
梅芳
肖世发
莫东
黄子康
关键词:
ZNO薄膜
离子注入
XRD
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