舒雄文
- 作品数:16 被引量:33H指数:4
- 供职机构:北京工业大学更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划北京市教委基金资助项目北京市教委资助项目更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术理学更多>>
- 一种半导体激光器腔面钝化的方法
- 本发明属于半导体激光器领域。包括以下步骤:半导体激光器在空气中解理成条后装入夹具后放入电子束蒸发真空室;离子预清洗,即在电子束蒸发的真空室中用能量小于100eV的低能大束流离子无损除去在空气中解理的腔面上的氧化物和杂质及...
- 徐晨沈光地舒雄文田增霞陈建新高国
- 文献传递
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具装条装置
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具及其装条装置,属于半导体激光器工艺技术领域。现有的夹具结构较为复杂,加工比较困难,而且装条极为麻烦很容易对腔面造成污染或损伤,夹持的薄板还容易对激光条造成机械损伤。本发明提供的用于半导体激光...
- 沈光地徐晨舒雄文邹德恕陈建新高国
- 文献传递
- 离子源放电电流对真空室压力影响机理研究被引量:1
- 2006年
- 揭示了真空室压力随离子源放电电流增长,而且在不同的气流速率时的增长率不同这一现象,并对其机理进行了分析,认为真空室压力随放电电流的增长主要是离化粒子束流密度的增长引起的,当然离化粒子的平均能量的增长也起了作用,而在不同气流速率时该压力增长率的不同则主要是因为在不同的气流速率时离化率不同。
- 舒雄文徐晨田增霞沈光地
- 关键词:放电电流离化
- 电子束蒸发Ar离子辅助沉积Si光学薄膜的特性被引量:2
- 2006年
- 对用常规电子束蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究。结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大大提高,表面粗糙度明显降低,湿度稳定性和热稳定性也得到较大改善,但是光学带隙变窄,光学吸收增加。
- 舒雄文徐晨田增霞沈光地
- 关键词:光学薄膜离子辅助沉积光学常数
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具及其装条装置
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具及其装条装置,属于半导体激光器工艺技术领域。现有的夹具结构较为复杂,加工比较困难,而且装条极为麻烦很容易对腔面造成污染或损伤,夹持的薄板还容易对激光条造成机械损伤。本发明提供的用于半导体激光...
- 沈光地徐晨舒雄文邹德恕陈建新高国
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- 半导体激光器结温测试研究被引量:6
- 2007年
- 提出了一种测试结温的简便易行的新方法,用此方法能够较准确地测量出激光器在直流工作时的结温。通过改变环境温度得到激光器正向电压的温度系数dVf/dT,再改变电流应力测得正向电压随电流的变化率dVf/dI。其中,由理论计算得到dVf/dT推出的温度随电流的变化率ΔT/ΔI为31.9℃/A,由实验得到dVf/dT推出的ΔT/ΔI为37.2℃/A。把这两者和常规的波长漂移法得到的结果ΔT/ΔI≈29.7℃/A进行比较,结果基本一致,从而证明了新方法的可行性。
- 罗丹郭伟玲徐晨舒雄文沈光地
- 关键词:半导体激光器结温温度系数
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具
- 用于半导体激光器腔面镀膜的夹具,属于半导体激光器工艺技术领域。现有的夹具结构较为复杂,加工比较困难,而且装条极为麻烦很容易对腔面造成污染或损伤,夹持的薄板还容易对激光条造成机械损伤。本实用新型提供的用于半导体激光器腔面镀...
- 沈光地徐晨舒雄文邹德恕陈建新高国
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- 808nm半导体激光器腔面硫钝化工艺研究被引量:6
- 2006年
- 对808 nm大功率半导体激光器腔面硫钝化处理的工艺进行了研究,发现腔面硫钝化可以提高激光器的输出特性以及其可靠性,输出功率提高了16.7%;经过1 500 h老化实验后,硫钝化的半导体激光器没有明显退化,而未处理的激光器退化严重,输出功率降低了36.8%。实验表明,硫钝化时间对激光器钝化效果有很大影响,激光器腔面硫钝化时间过长会造成其损伤,使其可靠性反而下降;硫钝化5 m in效果为最佳。
- 田增霞崔碧峰徐晨舒雄文张蕾沈光地
- 关键词:半导体激光器腔面硫钝化可靠性
- 射频溅射法镀LD腔面光学薄膜的工艺研究被引量:4
- 2003年
- 介绍了用普通多靶射频溅射台镀半导体激光器腔面光学膜的工艺方法,给出了实验的工艺条件、采用的光学膜的材料以及具体的工艺参数,讨论了此方法镀光学膜的结果以及优点。
- 邹德恕徐晨鲁鹏程杜金玉崔碧峰舒雄文刘莹沈光地
- 关键词:射频溅射增透膜高反射膜量子效率
- 用于半导体激光器腔面镀膜的装条装置
- 用于半导体激光器腔面镀膜的装条装置,属于半导体激光器工艺技术领域。现有的装条装置装条极为麻烦很容易对腔面造成污染或损伤,夹持的薄板还容易对激光条造成机械损伤。本其装条装置,其特征在于,由竖直滑动机构和水平滑动机构及底座组...
- 沈光地徐晨舒雄文邹德恕陈建新高国
- 文献传递