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窦维治

作品数：59 被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 52篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 14篇电子电信
  • 7篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 43篇半导体
  • 42篇激光
  • 38篇半导体制造
  • 35篇圆片
  • 29篇晶圆
  • 29篇晶圆片
  • 26篇半导体制造设...
  • 13篇光束
  • 10篇激光加工
  • 8篇激光光束
  • 8篇半导体制造技...
  • 7篇激光退火
  • 6篇浅结
  • 6篇紫外激光
  • 6篇激光处理
  • 6篇激光热处理
  • 6篇光学
  • 6篇超浅结
  • 5篇深紫外
  • 5篇退火

机构

  • 59篇清华大学

作者

  • 59篇窦维治
  • 54篇严利人
  • 51篇刘朋
  • 50篇周卫
  • 19篇刘志弘
  • 4篇韩冰
  • 4篇张伟
  • 2篇付玉霞
  • 2篇熊小义
  • 2篇钱佩信
  • 2篇张伟
  • 1篇黄文韬
  • 1篇陈长春
  • 1篇刘志农
  • 1篇王玉东
  • 1篇刘爱华
  • 1篇许军
  • 1篇陈晓程
  • 1篇单一林
  • 1篇刘道广

传媒

  • 2篇电子器件
  • 2篇微电子学
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十三届全国...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 14篇2013
  • 11篇2012
  • 18篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2005
  • 2篇2003
共 59 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于深紫外激光退火的加热片台扫描装置
本发明公开了属于半导体制造设备及半导体超浅结制造技术范围的一种用于深紫外激光退火的加热片台扫描装置。该扫描装置为激光束固定不动，A、B双加热片台的结构完全相同，并排固定于加热片台固定板上面，加热片台固定板下面固定X2平移...
周卫严利人刘朋窦维治
一种用于激光加工位置量测的微测试结构制造方法
本发明公开了属于半导体制造技术范围的一种用于激光加工中位置量测的微测试结构制造方法。首先设计电阻结构，选取电阻结构类型，采用传统技术，制作出高掺杂区，采用两步退火法制作低掺杂区；采用传统的技术包括介质层淀积、光刻和介质层...
严利人周卫刘朋窦维治
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一种用于复杂结构半导体器件的激光退火方法
本发明公开了属于半导体制造工艺范围的涉及一种用于复杂结构半导体器件的激光退火方法。该激光退火方法采用倾斜入射方式，在实施激光退火时，激光束与晶圆的法线方向之间呈现一个夹角，激光束的束斑作用在晶圆上的三维器件结构上，晶圆的...
周卫严利人刘朋窦维治
一种超浅结深紫外激光退火设备中的屏蔽电极装置
本发明公开了属于半导体器件制作工艺的深紫外激光退火设备中的屏蔽电极装置。在被加工的圆片上方加一个屏蔽电极，该屏蔽电极位于承载片台和被加工的圆片的上方，与被加工圆片表面平行，电极中心有一个小孔可使深紫外激光透过，电极相对于...
周卫严利人刘朋窦维治
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一种使用真空腔的激光处理装置和处理方法
本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种使用真空腔的激光处理装置和处理方法。所述真空激光处理装置包括真空工艺腔体，顶杆片托机构，真空系统及晶圆片的送取机构，激光辐照处理及冷却处理装置，本发明既能够灵活应对不同工艺加...
严利人周卫刘朋窦维治
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一种采用六边形束斑的激光扫描退火方法
本发明公开了属于半导体制造技术范围的一种采用六边形束斑进行激光扫退火的方法。所述六边形的激光束斑，通过在光路中两两相对放置的四块可以独立活动的挡板机构来实现，即上挡板和下挡板为独立或同步地移动；左挡板和右挡板为独立或同步...
刘朋严利人周卫窦维治刘志弘
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一种采用梯形束斑扫描的激光退火装置和方法
本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种采用梯形束斑扫描的激光退火装置和方法。该梯形束斑采用两块独立控制移动的挡板来得到。当梯形束斑的激光光束对晶圆片进行扫描退火时，两次梯形束斑边缘按c＝(a-b)/2重叠，使相邻...
刘朋周卫严利人窦维治刘志弘
一种激光加工中晶圆片定位误差的量测方法
本发明公开了属于半导体制造技术范围的一种激光加工中晶圆片定位误差的量测方法。所述的方法，首先是设计半导体制造的版图，在版图设计完成，并制版之后，进入制造流程，制造这些微测试结构。除低浓度掺杂区外其他部分的工艺均同常规工艺...
严利人周卫刘朋窦维治
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一种片台扫描式激光加工中的遮光快门控制方法
本发明公开了一种片台扫描式激光加工中的遮光快门控制方法。具体的做法，遮光快门在片台运行的过程中通过激光加工处理系统的控制系统来控制遮光快门的开启和关闭；在片台开始运行之前的待机阶段，激光源是开启或关闭，但遮光快门总是关闭...
严利人周卫刘朋窦维治
文献传递
结构化的微细结构描述语言MSDL
2005年
文章结合实例,详细介绍了一种分五个层次定义的微细结构描述语言———MSDL(MicroStructureDescriptionLanguage)。包括集成电路、MEMS元器件等在内的任意微细结构,都可由所定义的描述语言进行描述。新器件的结构经由MSDL语言表述后,器件结构分析,制造可行性检查,工艺流程确定,乃至流程的实际实施等,都能够由计算机或在计算机控制下自动完成。因此,MSDL语言已成为辅助新器件开发的有力工具。
严利人陈晓程窦维治
关键词：微细结构半导体工艺
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