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程泽宇
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
南昌航空大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
金属学及工艺
航空宇航科学技术
电子电信
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合作作者
田中群
厦门大学化学化工学院固体表面物...
李维
南昌航空大学材料科学与工程学院
田昭武
厦门大学化学化工学院固体表面物...
杜楠
南昌航空大学材料科学与工程学院
蒋利民
厦门大学化学化工学院固体表面物...
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田中群
传媒
1篇
物理化学学报
年份
1篇
2008
1篇
2007
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新型电化学微刻蚀技术及其机理的研究
微纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一,将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统(或微机电系统,MEMS)可能迅速崛起和蓬勃发展,成为微纳米科技中的核心之一。为了适应微系统技术的快速...
程泽宇
关键词:
约束刻蚀剂层技术
微加工技术
文献传递
镁合金表面微结构阵列的电化学微加工
被引量:5
2008年
研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法.通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁合金的腐蚀速率的测量与分析,对一些可能有刻蚀作用的刻蚀体系进行了研究.选用亚硝酸钠作为产生刻蚀剂(硝酸)的前驱体、氢氧化钠作为捕捉剂、少量硅酸钠作为缓蚀剂的约束刻蚀体系,使用具有规整三维微立方体点阵结构的模板,在金属镁表面加工出具有与模板互补特性的点阵微结构,复制加工的分辨率为亚微米级.并对刻蚀过程机理进行了探讨与分析.
蒋利民
程泽宇
杜楠
李维
田中群
田昭武
关键词:
约束刻蚀剂层技术
镁
电化学
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