田怡春
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金科技部基础性研究重大项目国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移被引量：3
- 2007年
- 报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法—GaAs衬底选择湿法刻蚀技术。利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征。结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥离和转移过程中微探尖没有受到损伤。这种技术对实现由带有PIN光探测器的垂直腔面发射激光器与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着非常重要的应用价值。
- 孙晓娟胡礼中田怡春张籍权张红治梁秀萍潘石
- 关键词：湿法刻蚀液相外延
- GaAs微探尖的制备、剥离与集成
- 扫描近场光学显微术(Scanning near-field optical microscopy或SNOM)是一种新型纳米尺度结构和信息研究的强有力的光电子工具。它利用局限在物体表面小于一个光波长范围内的隐失场(非辐射场...
- 田怡春
- 关键词：光学显微术
- 文献传递
- 液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究被引量：1
- 2008年
- 介绍一种用于扫描近场光学显微术(NSOM)传感头的GaAs微探尖的生长剥离技术。通过SiO2掩膜窗口,利用一次选择液相外延制备周期性阵列的GaAs微探尖。在GaAs衬底与GaAs微探尖之间引入AlGaAs层,并对窗口大小的AlGaAs层进行选择腐蚀,将单个GaAs微探尖从GaAs衬底上剥离下来。扫描电子显微镜显示的结果表明,此微探尖具有金字塔结构、表面光滑且转移过程无损伤。这种技术制备的GaAs微探尖的形貌与质量主要由晶体的结构决定,具有可重复、表面光滑、适合批量生产的优点。
- 梁秀萍冯秋菊张贺秋田怡春张红治孙晓娟胡礼中
- 关键词：液相外延湿法刻蚀
- LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成被引量：1
- 2008年
- 介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤。这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值。
- 田怡春胡礼中梁秀萍张红治潘石
- 关键词：液相外延
