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文献类型

  • 12篇中文专利

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 7篇辉光
  • 5篇实验堆
  • 4篇聚变
  • 4篇放电电极
  • 3篇电绝缘
  • 3篇嵌入式
  • 3篇中子
  • 3篇中子辐照
  • 3篇电引线
  • 2篇阳极
  • 2篇离子
  • 2篇离子束
  • 2篇离子束辅助
  • 2篇离子束辅助沉...
  • 2篇离子束刻蚀
  • 2篇绝缘支柱
  • 2篇刻蚀
  • 2篇辉光放电
  • 2篇核聚变
  • 2篇磁控

机构

  • 12篇中国核工业集...

作者

  • 12篇王丁
  • 8篇沈丽如
  • 7篇但敏
  • 6篇李波
  • 6篇江涛
  • 6篇王明旭
  • 6篇潘宇东
  • 6篇王英翘
  • 6篇李伟
  • 6篇张智勇
  • 6篇任晓坜
  • 6篇舒筱丹
  • 3篇陈庆川
  • 2篇赵哲
  • 1篇唐德礼
  • 1篇金凡亚
  • 1篇陈美艳
  • 1篇陈伦江
  • 1篇张帆
  • 1篇李平川

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2016
  • 2篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2011
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
嵌入式辉光放电电极
本发明属于一种辉光放电电极,具体公开一种嵌入式辉光放电电极,该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩,电极头位于屏蔽罩内;屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧,屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的...
王明旭王英翘潘宇东任晓坜但敏王丁李波李伟江涛沈丽如舒筱丹甘明杨张智勇
文献传递
一种内径55mm长管道内壁镀膜的磁控柱靶镀膜结构
本实用新型属于镀膜技术,具体涉及一种内径55mm长管道内壁镀膜的磁控柱靶镀膜结构。包括圆筒形的工件、与工件固定连接的工件支架、固定设于工件支架上方的真空法兰,以及安装在圆筒形的工件内部的磁钢和安装在磁钢内的磁轭;所述的磁...
王丁张帆唐德礼
增强磁场型线性离子源
本发明属于离子束技术领域,具体地说是一种适用于离子束清洗,离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和...
陈庆川韩大凯赵哲沈丽如王丁
具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极
本发明一种辉光放电电极,具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极,该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的和屏蔽罩其中,所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子,电极、真空引线与屏蔽罩之间均形...
王明旭王英翘潘宇东任晓坜但敏王丁李波李伟江涛沈丽如舒筱丹甘明杨张智勇
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增强磁场型线性离子源
本发明属于离子束技术领域,具体地说是一种适用于离子束清洗,离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和...
陈庆川韩大凯赵哲沈丽如王丁
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一种等离子体射流触发脉冲阴极弧源
本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域,具体涉及一种等离子体射流触发脉冲阴极弧源,包括:水冷阴极靶、磁流体、齿轮减速器、冷却水进出嘴、阴极靶电机、运动模组电机、磁场线圈、屏蔽壳、运动机械模组和等离子体电弧射流炬...
聂军伟陈庆川祝土富王丁金凡亚但敏陈伦江
具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极
本发明一种辉光放电电极,具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极,该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的屏蔽罩,所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子,电极、真空引线与屏蔽罩之间均形成缝隙...
王明旭王英翘潘宇东任晓坜但敏王丁李波李伟江涛沈丽如舒筱丹甘明杨张智勇
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具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极
本实用新型一种辉光放电电极,具体公开一种具有缝隙电绝缘结构的辉光放电电极,该电极包括真空引线、设置在真空引线一端的电极、套在真空引线和电极外的和屏蔽罩其中,所述的屏蔽罩与真空引线之间设有绝缘子,电极、真空引线与屏蔽罩之间...
王明旭王英翘潘宇东任晓坜但敏王丁李波李伟江涛沈丽如舒筱丹甘明杨张智勇
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一种适用于条形磁控靶的挡板结构
本实用新型属于真空等离子体技术领域,具体涉及一种条形磁控靶挡板结构,包括位于真空室内的挡板和挡板座,以及与挡板一端连接的驱动机构;挡板由上下2块支撑板和1块面板焊接而成,本装置可通过在磁控靶法兰上开孔安装,无需在真空室开...
王丁张帆李平川唐德礼
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嵌入式辉光放电电极
本发明属于一种辉光放电电极,具体公开一种嵌入式辉光放电电极,该电极包括真空法兰、真空电引线、设置在真空电引线真空侧一端的电极头和屏蔽罩,电极头位于屏蔽罩内;屏蔽罩的一侧套在真空电引线的真空侧,屏蔽罩的另一侧敞口。本发明的...
王明旭王英翘潘宇东任晓坜但敏王丁李波李伟江涛沈丽如舒筱丹甘明杨张智勇
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共2页<12>
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