梁国均
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计被引量：1
- 2009年
- 351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算,依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度,既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性,同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明,输出的六角形光束的相对光通量为96%,近似于平顶的能量分布,呈现出了极好的均匀性。
- 裴文彦周金运梁国均林清华
- 关键词：准分子激光器光刻光学设计
- 印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析被引量：4
- 2009年
- 针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。
- 裴文彦周金运梁国均林清华
- 关键词：激光技术印刷电路板
- 印刷电路板的激光投影光刻的照明系统研究
- 随着印制电路板向大面积、高密度的方向发展，我们需要更高品质的PCB激光投影光刻的照明系统以适应高分辨率和高品质PCB板的制造。传统照明系统如柯拉照明、棱镜法、反射镜法的输出均匀性已经不能满足需要;另外一些照明系统如复眼式...
- 梁国均
- 关键词：印制电路板照明系统准分子激光光学设计激光投影激光光刻
- 文献传递
- 部分相干高斯光通过扩束系统的衍射分析
- 2009年
- 采用高斯谢尔Gaussian-Schell模型(GSM)来描述部分相干的准分子激光束,利用柯林斯(Collins)衍射积分公式和Matlab对部分相干高斯光通过扩束系统的衍射性质进行模拟分析。结果表明,出射激光束随着空间相干参数β的变大,出现亮暗相间环状光束的数目增多,且衍射峰值明显增加。表明空间相干参数对于设计扩束系统及其相关光学系统的重要性。
- 梁国均周金运陈宇星刘逸轩林清华
- 关键词：部分相干
- 248 nm Krf激光投影成像系统设计与参数分析
- 2008年
- 对用于需要微米级线宽的平板显示器件、光电子与微电子产品等工业化生产中的激光投影成像(LPI)装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析.以248nmKrF深紫外激光作为光源,在装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、激光光源、曝光时间.得到了相关的具有一定参考价值的结论.
- 陈宇星周金运梁国均刘逸轩
- 关键词：焦深分辨率
