梁友生
- 作品数：8 被引量：26H指数：3
- 供职机构：四川大学电子信息学院光电科学技术系更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金四川省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于DSP实现的光电点钞系统数据处理方法研究被引量：6
- 2004年
- 基于显微测量技术和CCD测量技术,提出了新钞票在线数点的一种新方法,研究了基于DSP实现的各种数据处理方法。多次测试的数据经过二值化后得到了相同的计数结果,准确地反映了钞票的纸张信息。实验证明了这种钞票数点方法的正确性及DSP数据处理的有效性。
- 何卫国曹益平梁友生赵新亮常山
- 关键词：显微测量CCDDSP图像识别数据采集
- 离焦在新钞票纸张识别中的应用
- 本文提出了一种采用离焦技术有效获取一捆新钞纸张信息的光学信息处理方法。给出了由光学离焦引起的光学低通滤波的数学解析描述。并用实验证明了光学离焦对钞票纸张识别的有效性和准确性。
- 曹益平何卫国梁友生赵新亮常山
- 关键词：显微成像CCDDSP图像识别
- 文献传递
- 电光调制技术在光刻对准中的应用被引量：2
- 2005年
- 介绍了投影光刻机离轴对准系统的结构和相位探测的原理,详细讨论了电光相位调制技术抑制杂散光的机理,并分析比较了有无杂散光对光刻对准精度的影响。结果表明,使用电光调制技术可有效提高投影光刻的对准精度。
- 梁友生曹益平周金梅邢廷文
- 关键词：光刻
- 光刻对准技术研究进展被引量：12
- 2004年
- 回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
- 梁友生曹益平邢廷文
- 关键词：光刻技术掩模
- 一种新钞票纸张的离焦识别新方法被引量：5
- 2004年
- 本文提出了一种采用离焦技术有效获取一捆新钞纸张信息的光学信息处理方法。给出了由光学离焦引起的光学低通滤波的数学解析描述。
- 曹益平何卫国梁友生赵新亮常山
- 关键词：显微成像CCDDSP图像识别
- 掩模硅片自动对准误差校正算法被引量：1
- 2005年
- 为了改善对准精度,对100nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中。掩模硅片自动对准算法决定机器坐标系、掩模坐标系、硅片坐标系相互的位置关系,可很好地校正由掩模硅片引起的平移、线变、旋转、正交性的偏差。
- 梁友生曹益平周金梅邢廷文
- 关键词：光学光刻最小二乘法
- 100nm线宽的掩模硅片自动对准算法被引量：1
- 2004年
- 对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求。
- 梁友生周金梅曹益平邢廷文
- 关键词：最小二乘法
- 光刻机精细对准方法研究
- 集成电路的密集程度和性能指标按摩尔定律(Moor's Law)成几何级数快速增长，它强力推动着整个IT行业的高速发展。光刻技术在集成电路中有着举足轻重的作用，是集成电路工业的“顶梁柱”，是近代信息技术中的一项关键技术。光...
- 梁友生
- 关键词：光刻技术电光调制集成电路
- 文献传递
