杨清瑞
- 作品数：89 被引量：2H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 带离散结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备
- 带离散结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备。本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上侧；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚...
- 杨清瑞庞慰张孟伦
- 文献传递
- 一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器
- 2024年
- 针对小型化高性能谐振式压力传感器的应用需求,提出一种以压电驱动氮化铝(AlN)双端固支音叉型(DETF)微谐振器为敏感元件的新型压力传感器,并设计加工了其核心元器件.首先,通过理论分析,研究了尺寸参数对谐振器在面内弯曲振动模式下的频率-轴向位移灵敏度及品质因数Q值的影响;同时,讨论了层叠结构和电极驱动方案对谐振器性能的影响,从而确定了谐振器设计参数,进一步采用微机电系统(MEMS)工艺加工了该谐振器并对其性能进行了测试.测试结果表明:在真空度为0.1 Pa的环境下,谐振器的Q值为11039,串联谐振阻抗Rs为6.2 kΩ;在常压环境下,谐振器的Q值为844,R_(s)为44.3 kΩ.两种测试条件下谐振器的性能均优于现有文献报道的同类型谐振器研究结果,为进一步实现高灵敏度、高精度和宽动态响应范围的谐振式压力传感器奠定了良好的基础.最后,采用有限元仿真方法确定了谐振器的频率-轴向位移灵敏度,研究了压力传感器灵敏度与压力敏感隔膜厚度的关系,设计了压力传感器加工流程,从而有望制作出完整的压力传感器芯片.
- 李浩霖杨清瑞原毅刘伯华孙崇玲张孟伦
- 关键词：微机电系统压电驱动谐振式压力传感器氮化铝薄膜
- 压电MEMS谐振器及其形成方法、电子设备
- 本发明涉及谐振器技术领域，具体涉及一种压电MEMS谐振器及其形成方法、电子设备。本发明的压电MEMS谐振器，具有一个或多个谐振结构，所述谐振结构包括沿平行于器件基底平面的方向堆叠的压电层、电极层和从动层。该压电MEMS谐...
- 张孟伦杨清瑞宫少波
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- 封装结构、半导体器件、电子设备
- 本发明涉及一种半导体器件用封装结构，所述半导体器件包括对置的第一基底与第二基底，所述封装结构包括：垫圈结构，所述垫圈结构自第二基底朝向第一基底凸出；和粘附层，设置在垫圈结构与第一基底相对的端面和/或设置在第一基底上与垫圈...
- 杨清瑞庞慰孙晨张孟伦
- 带复合环形结构的谐振器、滤波器及电子设备
- 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，且具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方...
- 杨清瑞庞慰张孟伦
- 改变射频螺旋电感之间的互感的方法和射频电路
- 本发明提供一种改变射频螺旋电感之间的互感的方法和射频电路，有助于提高射频电路中的螺旋电感之间的隔离度。本发明的改变射频螺旋电感之间的互感的方法中，对于固定在基底上的两个以上射频螺旋电感，改变至少两个射频螺旋电感所处的平面...
- 张浩周冲庞慰杨清瑞
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- 压电层具有插入结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备
- 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述压电层中设置有沿所述有效区域的边缘布置的复合插入结构，所述复合插入...
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- 体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备
- 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述谐振器还包括用于底电极的刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层设置于所述底电极...
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- 横向电场激励的薄膜体声波谐振器和滤波器
- 本申请涉及半导体器件领域且提供一种横向电场激励的薄膜体声波谐振器和滤波器。所述薄膜体声波谐振器包括在第一方向上层叠的衬底和压电薄膜，形成于衬底与压电薄膜之间的声反射层；以及形成于薄膜的至少一侧的表面的第一叉指电极和第二叉...
- 庞慰杨清瑞张孟伦宫少波
- 顶电极连接部设有延伸结构的谐振器、滤波器和电子设备
- 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；...
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