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张耿

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：东莞理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶薄膜
  • 1篇IGZO

机构

  • 1篇东莞理工大学
  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇张耿

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
XPS技术在IGZO非晶薄膜组份研究中的应用
采用XPS技术分析了不同气体制备的IGZO薄膜在退火前后的各元素组分的变化情况,发现IGZO薄膜中氧元素的不同化学状态含量与溅射气体以及退火工艺密切相关.利用XPS对每组IGZO样品的价带谱进行采集和分析,观察到氧含量对...
龚力张耿谢方艳程蕾张卫红陈建
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