张殿文
- 作品数：4 被引量：41H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)被引量：14
- 2002年
- 介绍了具有直角坐标和极坐标写入系统的激光直写设备 。
- 李凤友卢振武谢永军张殿文
- 关键词：极坐标衍射光学元件计算全息图光刻
- 激光直接写入工艺的研究被引量：13
- 2001年
- 本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 0μm的线光栅和线宽为 10 μm的分划板 。
- 李凤友卢振武张殿文李红军赵晶丽丛小杰翁志成
- 关键词：光刻
- 面向对象分析、设计与编程被引量：11
- 2000年
- 在软件工程中 ,作为软件开发的一种实用而有效的途径——面向对象方法 ,由于具有很多独特的优点 ,已逐步得到软件开发人员的广泛应用。本文从软件工程的角度 ,通过对面向对象方法的基本组成部分——面向对象分析、面向对象设计和面向对象编程的分别研究与论述 ,并结合典型的面向对象编程语言 C++的程序设计方法 ,系统地阐述了面向对象程序设计方法的一般步骤和基本方法 .同时 ,本文对 C++语言的三大重要特征——对象、多态性和继承做了分析和介绍 ,从而构建了用 C++语言编程的基本框架 .面向对象的方法是一种新的编程方法 ,它因具有许多优点而具有旺盛的生命力的同时 ,尚有许多问题有待解决 。
- 张殿文卢振武
- 关键词：面向对象语言面向对象分析面向对象设计
- 蚀刻表面面形的分析被引量：3
- 2002年
- 采用一个有效的数学模型 ,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响 ,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状 ,并将结果与实验进行对比 .利用这个数学模型对使用离子束蚀刻制作单台阶光栅的台阶与沟槽部分的表面面形随时间的演变过程进行了计算机模拟分析 ,并通过把理论结果与在实验中得到的蚀刻表面在原子力显微镜 ( AFM)下拍摄的照片进行比较 ,结果说明这种模拟分析能够保证对该问题分析所要求的精度 。
- 张殿文卢振武曹召良李凤友赵晶丽裴舒刘玉玲王肇圻
- 关键词：蚀刻离子束蚀刻光栅衍射光学元件数学模型
