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张志峰

作品数：1 被引量：15H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：博士科研启动基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导体
  • 1篇氧化钛
  • 1篇二氧化钛
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇孙一军
  • 1篇张良莹
  • 1篇姚熹
  • 1篇张志峰

传媒

  • 1篇硅酸盐通报

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用MOCVD方法制备TIO_2薄膜:工艺及进展被引量：15
1997年
本文概述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）的方法制备ＴＩＯ２薄膜的原理工艺过程用工艺特点，并指出了最新研研进展和存在的问题以今后及发展方向。
孙一军张志峰张良莹姚熹
关键词：MOCVD二氧化钛半导体薄膜
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共1页<1>
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