常大磊
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2光催化薄膜
- 锐钛矿相二氧化钛(TiO2)作为一种半导体光催化剂,在太阳能电池、空气和水体净化、自清洁和抗菌消毒等领域具有广泛的应用前景。大气压介质阻挡放电因其具有沉积温度低、装置简单、易于操作等优点,在制备TiO2光催化薄膜方面具有...
- 常大磊
- 关键词：介质阻挡放电等离子体化学气相沉积发射光谱
- 文献传递
- 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2体系的发射光谱诊断被引量：5
- 2013年
- 开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分压的增加,氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降,OH振动温度缓慢增加,而氩原子激发温度和OH转动温度基本不变.随着TTIP分压的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度没有明显变化,而OH振动温度和转动温度增加.随着输入功率的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度、OH振动温度和转动温度升高.
- 常大磊李小松赵天亮朱爱民
- 关键词：介质阻挡放电等离子体化学气相沉积发射光谱诊断TIO2
- 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO<sub>2</sub>光催化薄膜
- 锐钛矿相二氧化钛(TiO2)作为一种半导体光催化剂,在太阳能电池、空气和水体净化、自清洁和抗菌消毒等领域具有广泛的应用前景。大气压介质阻挡放电因其具有沉积温度低、装置简单、易于操作等优点,在制备TiO2光催化薄膜方面具有...
- 常大磊
- 关键词：介质阻挡放电等离子体化学气相沉积发射光谱
