谢进
- 作品数：12 被引量：72H指数：5
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程一般工业技术电气工程更多>>
- 聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用被引量：20
- 2001年
- ＦＩＢ是一种将微分析和微加工相结合的新技术，在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍，并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。
- 刘立建谢进王家楫
- 关键词：集成电路微细加工聚焦离子束微电子
- 铜—陶瓷键合机理及其规律的研究
- 该文结合国家"八五"科技攻关任务,成功地研制出新一代电力半导体模块(如GTR、IGBT等)封装用关键材料--铜-陶瓷共晶键合基板.测试结果表明铜-陶瓷共晶键合基板有着优良的机械及电气性能.运用多种显微分析技术,对铜-陶瓷...
- 谢进
- 关键词：ALN陶瓷电力电子器件
- 铜-氮化铝陶瓷键合机理的探讨被引量：5
- 2000年
- 在一定的温度下 ,由于适量的氧元素的引入 ,铜的表面将形成一层Cu Cu2 O共晶熔体 ,通过这一共晶熔体可以将铜与许多陶瓷键合在一起。研究了铜与氮化铝陶瓷直接键合的可行性 ,运用扫描电镜 (SEM )、电子能谱(EDX)对键合机理作了一定的分析和探讨。
- 谢进宗祥福徐传骧钟力生
- 关键词：键合
- Cu－Al_2O_3陶瓷键合机理的研究被引量：5
- 1995年
- 在一定的温度下，ＣＵ－Ａｌ２Ｏ３界面处由于氧元素的引入，铜的表面形成一层ｃｕ－Ｃｕ２Ｏ共晶熔体，这一熔体能同时湿润铜和陶瓷，降温后使Ｃｕ－Ａｌ２Ｏ３形成牢固键合．到目前为止，其健合机理还不十分明了．本文运用扫描电镜（ＳＥＭ）、能谱分析（ＥＤＸ）、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）技术对Ｃｕ－Ａｌ２Ｏ３界面的键合结构及生成的物相进行了系统的研究．
- 谢进徐传骧
- 关键词：陶瓷电力半导体器件半导体器件
- 蓝色Al/LiF双层电极有机电致发光器件(英文)被引量：1
- 2000年
- 合成并采用DPVB作为发光层 ,Al/LiF双层电极作阴极 ,得到了高亮度 (>980 0cd/m2 )、高效率 (1.7lm/W )的蓝色有机电致发光器件 .
- 叶炜赵伟明郑彬肖斐谢进宗祥福蒋雪茵张志林
- 关键词：电致发光蓝色发光双层电极有机发光器件
- AlN陶瓷在空气中高温下的氧化行为被引量：7
- 1996年
- 在空气中９００～１２００℃的高温下，研究了添加Ｙ２Ｏ３常压烧结ＡｌＮ陶瓷的氧化行为。用电光天平测量了氧化后ＡｌＮ陶瓷的相对质量变化△ｍ随氧化温度及时间的变化规律。运用扫描电镜（ＳＥＭ）。
- 谢进徐传骧
- 关键词：氮化铝陶瓷陶瓷高温
- 聚焦离子束(FIB)的透射电镜制样被引量：14
- 2000年
- 唐雷钧谢进陈一郑国祥宗祥福
- 关键词：聚焦离子束透射电镜制样IC芯片
- 氮化铝陶瓷覆铜基板的研制被引量：5
- 2000年
- 通过高温热氧化的方法 ,在AlN陶瓷表面形成一薄层Al2 O3作为过渡层 ,成功地将铜与AlN陶瓷键合在一起 ,研制出性能优越的AlN陶瓷覆铜基板 .研究了AlN热氧化时间及温度对键合质量的影响 ,提出了较佳的氧化工艺 ,获得的键合力可达 1 1 0N/cm .同时 ,运用扫描电镜 (SEM )、电子能谱 (EDX)对键合结构作了分析和研究 ,AlN衬底上的氧化物相对键合过程起着重要作用 .
- 谢进宗祥福
- 关键词：铜键合半导体模块
- 聚焦离子束刻蚀性能的研究被引量：9
- 2001年
- 对聚焦离子束 (FIB)的基本刻蚀性能进行了实验和研究 .通过扫描电镜对 FIB刻蚀坑的观测 ,给出了在不同材料上 (硅、铝和二氧化硅 ) FIB的刻蚀速率及刻蚀坑的形貌同离子束流大小的关系 .由于不同材料的原子结合能、原子量及晶体结构等因素对离子束溅射产额的影响 ,从而影响着离子束的刻蚀速率 ;随着离子束流的增大 ,刻蚀速率并非线性增加 ,且刻蚀坑的形貌越来越不均匀 。
- 谢进江素华王家楫唐雷钧宗祥福
- 关键词：聚焦离子束集成电路刻蚀溅射扫描电镜FIB
- ZnO陶瓷键合Cu电极技术的研究被引量：1
- 1997年
- 研究了Ｃｕ－ＺｎＯ陶瓷键合技术，并探讨了其作为电极用在线性ＺｎＯ陶瓷电阻器上对器件性能的影响，运用扫描电镜对Ｃｕ－ＺｎＯ陶瓷的键合结构进行了分析，测量了键合Ｃｕ电极后的接触电阻及器件耐电流冲击的稳定性，并与镀Ｃｕ、喷Ａｌ及烧Ａｇ电极进行了分析对比．同时。
- 谢进徐传骧李盛涛
- 关键词：键合电极氧化锌陶瓷铜附着力
