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袁浩

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇多层膜
  • 2篇异质结
  • 2篇蒸发
  • 2篇激光分子束外...
  • 2篇溅射
  • 2篇分子束
  • 2篇分子束外延
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇钟建平
  • 2篇吴昊
  • 2篇袁浩
  • 2篇赵崇凌
  • 2篇曹立新
  • 2篇张福昌
  • 2篇苗君
  • 2篇赵柏儒
  • 2篇许波
  • 2篇赵力
  • 2篇杨浩

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
复合薄膜制备系统
本发明提供了一种薄膜制备系统，包括：用于取出和放入样品的样品室，包括样品存储台；磁控溅射装置，包括磁控室、磁控室样品台和用于在真空中在磁控室样品台和样品室的样品存储台之间传送样品的磁控室样品传递机构；以及激光分子束外延装...
赵柏儒许波赵崇凌吴昊杨浩袁浩曹立新苗君赵力张福昌钟建平
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复合薄膜制备系统
本发明提供了一种薄膜制备系统，包括：用于取出和放入样品的样品室，包括样品存储台；磁控溅射装置，包括磁控室、磁控室样品台和用于在真空中在磁控室样品台和样品室的样品存储台之间传送样品的磁控室样品传递机构；以及激光分子束外延装...
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