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薛实福

作品数：56 被引量：96H指数：5
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇期刊文章
  • 8篇会议论文
  • 7篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 25篇机械工程
  • 14篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇电路
  • 12篇集成电路
  • 10篇传感
  • 9篇感器
  • 9篇传感器
  • 7篇力传感器
  • 6篇原子力显微镜
  • 6篇显微镜
  • 6篇线宽
  • 5篇调焦
  • 5篇仪器
  • 5篇自动调焦
  • 5篇干涉仪
  • 5篇测量仪
  • 4篇移相
  • 4篇微机械
  • 4篇非接触
  • 4篇测量仪器
  • 3篇单频
  • 3篇弹性支承

机构

  • 56篇清华大学
  • 1篇电子工业部

作者

  • 56篇薛实福
  • 53篇李庆祥
  • 16篇徐毓娴
  • 14篇于水
  • 9篇高宏
  • 9篇王伯雄
  • 8篇王云庆
  • 8篇严普强
  • 7篇白立芬
  • 6篇刘永生
  • 6篇周兆英
  • 6篇高宏
  • 3篇龙志峰
  • 3篇王晓晔
  • 2篇王剑
  • 2篇汪春庆
  • 1篇刘永生
  • 1篇顾晓渝
  • 1篇黄成伟
  • 1篇李志

传媒

  • 10篇仪器仪表学报
  • 7篇光学精密工程
  • 5篇电子工业专用...
  • 3篇计量学报
  • 3篇第六届全国电...
  • 2篇清华大学学报...
  • 2篇光学技术
  • 2篇机械设计
  • 2篇仪表技术与传...
  • 2篇LSI制造与...
  • 2篇中国仪器仪表...
  • 1篇现代科学仪器
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇微型机与应用
  • 1篇光学仪器
  • 1篇固体润滑
  • 1篇中国仪器仪表...
  • 1篇中国计量测试...

年份

  • 1篇2005
  • 2篇2001
  • 3篇2000
  • 3篇1999
  • 4篇1998
  • 4篇1997
  • 7篇1996
  • 5篇1995
  • 6篇1994
  • 3篇1993
  • 9篇1992
  • 5篇1991
  • 4篇1990
共 56 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究被引量：3
1998年
应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。
王晓晔薛实福李庆祥徐毓娴白立芬于水
关键词：有限元原子力显微镜力传感器结构优化
基于图象处理的自动调焦方法中清晰度判据函数的研究
处理法是一种比较理想的自动调焦方法，其核心就是清查找茺判据函数的选择。该文总结多年研究成果，介绍了清晰度判据函数的分类和几种常用的判据函数：基于图象直方图、基于图象微分和基于图象对比度的判据函数，并提出了一种基于图象积分...
白立芬于水薛实福李庆祥
关键词：图象处理自动调焦
微小尺寸测量理论与技术的研究
李庆祥薛实福徐毓娴于水
微小尺寸测量技术属于测试计量仪器学科，它是新兴的发展迅速的重要学术领域。它的理论与技术涉及面广、难度大，是多学科交叉的前沿，形成测量学科的重要分支，是微米/纳米技术的发展支柱和重要组成部分，适用于微电子、微型机械、精密机...
关键词：
关键词：微小尺寸测量测试仪器
微型光机电系统及其制作被引量：1
2000年
微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术 ,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统。最后对其的发展作了展望。
白立芬李庆祥薛实福于水
关键词：集成电路工艺
线宽轮廓测量仪的自动调焦系统
李庆祥薛实福王伯雄
关键词：大规模集成电路测量仪器
内光路偏心光束自动调焦仪
一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。;本自动调焦仪调焦范围大，可达10...
薛实福李庆祥汪春庆许先海
文献传递
一种测量波片相位延迟的简易方法被引量：6
1992年
本文提出了一种精确测量波片相位延迟量的简易方法。在塞纳蒙补偿器中,只需测量检偏器在四个不同方位角时的相应光强,就可精确获得波片的相位延迟量。
高宏薛实福李庆祥马东海
关键词：光学仪器波片
应用SSPDA单频激光干涉仪
1994年
本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
薛实福李庆祥王伯雄徐毓娴于水
关键词：单频激光器干涉仪
原子力显微镜（AFM）力传感器及其固有频率的测试被引量：4
1995年
由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（ｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频率测试系统与方法。
薛实福刘永生李庆祥高宏于水
关键词：力传感器原子力显微镜固有频率
移相式激光偏振仪的原理及误差分析被引量：5
1992年
本文介绍了移相式激光偏振仪的原理及误差分析。在塞纳蒙补偿器系统中,通过改变检偏器方位角对输出光强进行移相,然后测量输出光强并作傅立叶分析,就可精确获得被测件的相位延迟量。
高宏李庆祥薛实福马东海
关键词：移相式
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