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章佩娴
作品数:
4
被引量:12
H指数:2
供职机构:
中山大学物理科学与工程技术学院物理系
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
一般工业技术
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合作作者
任豪
广州市光机电工程研究开发中心
姚杰
中山大学物理科学与工程技术学院...
梁斌
中山大学物理科学与工程技术学院...
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章佩娴
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任豪
2篇
姚杰
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梁斌
传媒
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中山大学学报...
年份
1篇
2002
1篇
1999
1篇
1997
1篇
1996
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4
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多孔Al_2O_3薄膜感湿材料的湿敏特性研究
被引量:1
2002年
通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。
任豪
章佩娴
关键词:
湿敏特性
湿度传感器
阳极氧化
新型高分子湿敏电容的研制及特性研究
被引量:3
1996年
采用新发现的一种高分子材料(PAI)作为感湿材料研制成一种新的高分子湿敏电容。
章佩娴
梁斌
何启泽
姚杰
关键词:
高分子
湿敏电容
多孔Al_2O_3湿度传感器的湿敏电容理论模型
被引量:8
1999年
建立了一种新型的多孔 Al2 O3 湿度传感器湿敏电容模型,以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。
任豪
章佩娴
关键词:
湿度传感器
控制上电极微结构改善高分子湿敏电容特性
1997年
通过控制金上电极的表面结构,高分子电容式湿度传感器的湿敏特性得到了改善.找到离子溅射这种最佳工艺及金上电极的最佳厚度—14nm.
章佩娴
姚杰
关键词:
电容式
湿度传感器
灵敏度
微结构
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