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王苑
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24
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西安交通大学
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相关领域:
一般工业技术
机械工程
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
蒋庄德
西安交通大学
赵立波
西安交通大学
赵玉龙
西安交通大学
苑国英
西安交通大学机械工程学院
王久洪
西安交通大学
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法,传感器芯片采用SOI硅片制造,包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁,其两端固定于芯片外框固支端,支撑梁上对称分布两个质量块,两质量块之间保持...
赵立波
许煜
蒋庄德
王苑
赵玉龙
苑国英
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一种基于谐振式结构的电涡流传感器芯片及其制备方法
一种基于谐振式结构的电涡流传感器芯片及其制备方法,芯片包括激励线圈和谐振结构两部分,谐振结构位于芯片中心,拾振电阻中的参考电阻位于芯片周围,检测电阻布置在检测梁上,两组电阻都是一端与连入惠斯通电桥,一端接地;制备方法为:...
蒋庄德
许煜
赵立波
王苑
赵玉龙
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采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法
本发明提供了一种采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法,根据直流电流或直流电压流过惠斯通电桥前后悬臂梁的频率偏移与对应的电流或直流电压之间的工作方程,即可实现直流电流或直流电压的测量。磁激励的高效性可以显...
蒋庄德
张桂铭
赵立波
徐龙起
赵玉龙
王苑
王久洪
苑国英
文献传递
采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法
本发明提供了一种采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法,根据直流电流或直流电压流过惠斯通电桥前后悬臂梁的频率偏移与对应的电流或直流电压之间的工作方程,即可实现直流电流或直流电压的测量。磁激励的高效性可以显...
蒋庄德
张桂铭
赵立波
徐龙起
赵玉龙
王苑
王久洪
苑国英
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一种多梁式超高g值加速度传感器芯片及其制备方法
本发明提供一种多梁式超高g值加速度传感器芯片及其制备方法,传感器芯片采用SOI硅片制造,其主要结构包括双端固支的支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等,支撑梁为双端固支梁,其两端固定于芯片外框固支端,芯片中四个敏感压阻梁对称...
蒋庄德
许煜
赵立波
王苑
赵玉龙
苑国英
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网格分布孔组位置度误差评定的新方法
2006年
提出了一种评定网格分布孔组位置度误差的新方法.对孔组几何图框固定、旋转、平移以及既平移又旋转等情况分别进行了讨论.用最小二乘法和最优化方法编制了相应的计算机评定程序.经过校核,该算法符合形位公差标准的规定,克服了通常所用的图解法既复杂又不易获得精确结果的困难.
苑国英
张卉
王苑
郭宏宾
关键词:
计量学
位置度误差
数据处理
一种高温CMUT压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种高温CMUT压力传感器及其制备方法,其整体结构从上至下依次为:第一碳化硅层、第一氮化硅层、第二碳化硅层、第二氮化硅层、和第三碳化硅层;第一氮化硅层、第二碳化硅层和第二氮化硅层周围部分和中间部分均被空腔在横...
赵立波
李支康
蒋庄德
叶志英
王久洪
王苑
赵玉龙
苑国英
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一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器
一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器,包括基底,加热器设置在基底的上表面中央,焊盘位于基底上表面加热器的旁边,和加热器连接,绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上,绝缘层薄膜上设置有腔壁,腔壁和绝缘层薄膜形...
赵立波
陈闯
蒋庄德
赵玉龙
王苑
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基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法
一种基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法。其总体结构由上而下为:上薄板,上空腔、振动薄膜、下空腔、基座、敏感材料层、多孔下电极。所述上空腔和下空腔分别位于振动薄膜的上、下两侧,所述敏感材料层设置在所述基...
赵立波
李支康
蒋庄德
叶志英
赵玉龙
王苑
王久洪
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一种磁激励压阻拾振式MEMS 谐振器的主动频率调谐方法
本发明提供了一种磁激励压阻拾振式MEMS谐振器的主动频率调谐方法。将所述谐振器置于匀强磁场中,当正弦交流电压施加在悬臂梁上的激励线圈上时,悬臂梁的振动通过压阻惠斯通电桥感知,压阻惠斯通电桥的输出电压为Uout;通过改变正...
赵立波
张桂铭
蒋庄德
徐龙起
赵玉龙
王苑
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