王肇志
- 作品数：33 被引量：21H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术生物学更多>>
- 连续浮雕步进扫描控制研究
- 在制作微透镜阵列时,光刻过程是采用连续浮雕方式.因此,其光刻设备在满足一般光刻要求的基础上,还应具备曝光时间和步进距离均可连续调节的步进扫描曝光功能.本文介绍了科学院光电所研制的URE-2000D型光刻机控制系统的结构组...
- 罗正全胡松王肇志赵立新
- 关键词：单片机
- 文献传递
- 激光共聚焦生物芯片扫描仪
- 本文介绍cy3、cy5两种荧光染料标记的生物芯片的双激光共聚焦生物芯片扫描仪主要技术方案、光学测量系统、高速XY扫描原理.
- 胡松姚汉民刘业异张强王肇志罗正全陈伟明
- 关键词：激光技术指标
- 文献传递
- 一种朗琴尺型激光光束参量测量仪
- 1998年
- 针对气体激光器细光束的尺寸参数的工业测量和质量控制，提出一种朗琴栅尺扫描ＴＥＭ００基模高斯激光光束的测量分析仪。所研制的仪器可以测量分析光斑１／ｅ２直径、横场分布和调制对比度等光束参数，特别是可以在近场测定１／ｅ２光束远场发散角。描述了该仪器的基本原理、结构及测量结果。
- 周晨波杨力马文礼马文礼江荣熙
- 关键词：发散度测量仪
- 高精度螺距自动扫描测量仪设计被引量：7
- 2002年
- 介绍一种高精度螺距自动扫描测量仪的技术方案和设计思想 ,该仪器用高速线阵CCD捕捉螺旋线的左右边缘 ,用精密开式光栅测出瞄准时扫描工件台的位置值 ,可用于自动高速扫描测量电子管灯丝和精密丝杠螺距、齿条周节及零件长度。
- 胡松王肇志唐小萍
- 关键词：线阵CCD
- 电子束曝光机激光工件台测量系统研究被引量：2
- 2005年
- 由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法。
- 乔俊仙王肇志胡松余国彬
- 关键词：激光干涉仪工件台电子束曝光机误差分析
- 电子束曝光机激光工件台系统研制被引量：2
- 2006年
- 介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。
- 乔俊仙王肇志胡松张正荣邢薇唐小萍王淑蓉
- 关键词：电子束曝光机激光干涉仪工件台
- 一种二维扫描精密激光曝光系统
- 一种二维扫描精密激光曝光系统，由圆刻机工作台、被刻码盘、激光器、掩模、摆动扫描系统、精密激光步进台、掩模抬起机构及计算机控制系统组成，激光器作为光源，光束整形后投射到摆动扫描系统上，计算机控制系统经过控制摆动扫描系统和精...
- 赵立新王肇志胡松唐小萍严伟邢薇
- 文献传递
- 一种二维扫描精密激光曝光系统
- 一种二维扫描精密激光曝光系统，由圆刻机工作台、被刻码盘、激光器、掩模、摆动扫描系统、精密激光步进台、掩模抬起机构及计算机控制系统组成，激光器作为光源，光束整形后投射到摆动扫描系统上，计算机控制系统经过控制摆动扫描系统和精...
- 赵立新王肇志胡松唐小萍严伟邢薇
- 文献传递
- 一种自动机械手送取片装置
- 本发明是一种自动机械手送取片装置包括两个抓钩、六个铰链、两个连杆、两个抓手、定位轴、光电开关、主轴、轴套、片夹、片夹脚、挡片和计算机，两个抓手通过第五铰链和第六铰链与轴套相连；两个连杆的一端分别通过第三铰链和第四铰链与主...
- 邢薇王肇志
- 文献传递
- 一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置
- 一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置：一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡...
- 邢薇王肇志胡松
- 文献传递
