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徐春林

作品数:1 被引量:7H指数:1
供职机构:南开大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇化学吸附
  • 1篇感器
  • 1篇半导体
  • 1篇O3
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇O

机构

  • 1篇南开大学

作者

  • 1篇张玉英
  • 1篇徐春林
  • 1篇祁增芳
  • 1篇牛文成
  • 1篇张福海

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇1998
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用In_2O_3薄膜制成的高感度半导体O_3传感器被引量:7
1998年
用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10×10^(-9)~1×10^(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响,发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响,以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制.
牛文成徐春林张福海祁增芳张玉英赖斌斌
关键词:O3传感器化学吸附
共1页<1>
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