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徐春林
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
南开大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张福海
南开大学
牛文成
南开大学
祁增芳
南开大学
张玉英
南开大学
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机构
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作者
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张玉英
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徐春林
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祁增芳
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牛文成
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张福海
传媒
1篇
传感技术学报
年份
1篇
1998
共
1
条 记 录,以下是 1-1
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用In_2O_3薄膜制成的高感度半导体O_3传感器
被引量:7
1998年
用In_2O_3作敏感膜研制出小型固态高感度(sensibilty)(10×10^(-9)~1×10^(-6)O_3传感器.研究了膜厚、气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响,发现AET(AdsorptionEffect Transistor)型O_3传感器具有灵敏的响应特性.并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响,以及AET作用对O_3非常敏感的物理机制.
牛文成
徐春林
张福海
祁增芳
张玉英
赖斌斌
关键词:
O3
传感器
化学吸附
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