周月豪
- 作品数：11 被引量：21H指数：3
- 供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信医药卫生更多>>
- 多用途激光电化学微制造装置
- 本发明公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆和调...
- 史铁林熊良才陈志凌周月豪
- 文献传递
- 准分子激光增强金属电化学刻蚀特性实验研究被引量：3
- 2004年
- 采用248nm KrF准分子激光照射电化学刻蚀中的金属阳极,记录过程中阳极电流的变化,对不同金属的阳极电流 曲线进行对比分析,发现在激光作用的时间内,阳极电流显著增大,激光作用过后,阳极电流迅速减小,而且脉冲频率越高阳 极电流增加的幅度越大,不同的金属阳极电流曲线有所不同,这反映准分子激光对不同金属电化学特性的增强有所差别。
- 柳海鹏周月豪熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光刻蚀
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 激光电化学微制造装置
- 本发明公开了一种激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，第一、第二电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆...
- 史铁林熊良才陈志凌周月豪
- 文献传递
- LIGA工艺中微电铸工艺研究被引量：8
- 2006年
- 为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
- 马龙周月豪熊良才柳海鹏史铁林
- 关键词：微电铸LIGA准分子激光PMMA
- 准分子激光直刻横向影响区实验研究被引量：5
- 2005年
- 采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
- 柳海鹏周月豪熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光
- 多用途激光电化学微制造装置
- 本实用新型公开了一种多用途激光电化学微制造装置，其结构为：可更换的衬里位于外壳内，外壳上设有可活动盖板，盖板上设有电源正、负接线柱、进气口、排气口和可更换的激光窗口，电极支架相互垂直，并分别通过二组固定在盖板上的调节丝杆...
- 史铁林熊良才陈志凌周月豪
- 文献传递
- 准分子激光电化学微结构制造方法及其装置
- 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体...
- 史铁林陈志凌熊良才柳海鹏周月豪马龙
- 文献传递
- 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究被引量：1
- 2005年
- 提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显,在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。
- 周月豪柳海鹏熊良才史铁林
- 关键词：准分子激光电化学刻蚀镍
- 激光诱导湿刻在微结构加工中的应用被引量：4
- 2004年
- 介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。
- 周月豪柳海鹏熊良才
- 关键词：刻蚀微加工激光诱导微结构导湿
