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吴国强

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 14篇微机械
  • 12篇感器
  • 12篇传感
  • 12篇传感器
  • 10篇电动势
  • 10篇感应电
  • 10篇感应电动势
  • 10篇磁场传感
  • 10篇磁场传感器
  • 9篇键合
  • 8篇温度
  • 8篇温度影响
  • 8篇谐振器
  • 8篇刻蚀
  • 8篇干法刻蚀
  • 7篇硅片
  • 6篇电磁感应
  • 6篇振子
  • 6篇微机械谐振器
  • 4篇亚微米

机构

  • 24篇中国科学院

作者

  • 24篇吴国强
  • 24篇徐德辉
  • 24篇熊斌
  • 24篇王跃林
  • 3篇姚邵康
  • 2篇徐铭
  • 1篇孙晓
  • 1篇张德阳

年份

  • 5篇2015
  • 3篇2014
  • 8篇2013
  • 5篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
微机械谐振器
本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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一种微机械磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层，然后在所述牺牲层上制备金属线圈，接着腐蚀掉所述牺牲层，最后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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微机械谐振器
本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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一种具有亚微米间隙微机械谐振器及制作方法
本发明涉及一种具有亚微米间隙的微机械谐振器及制作方法，其特征在于谐振器是由盖板硅片、结构硅片和衬底硅片三层硅片键合组成的“三明治”结构。结构硅片用来制作谐振器的振子，盖板硅片和衬底硅片分别用来制作驱动和检测的固定电极。谐...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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一种微机械磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上沉积一具有接触孔的牺牲层，然后在所述牺牲层上制备金属线圈，接着腐蚀掉所述牺牲层，最后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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热绝缘微结构及其制备方法
本发明提供一种热绝缘微结构及制备方法，属于微机电系统领域。该热绝缘微结构的制备方法是通过在一SOI衬底顶层硅上光刻并刻蚀出与SOI衬底中绝缘埋层相接的环形沟槽，并在所述环形沟槽中填充一种不易被衬底腐蚀气体或等离子体所腐蚀...
徐德辉熊斌孙晓吴国强王跃林
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微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用单端电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在同相位模...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
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