余平
- 作品数:11 被引量:0H指数:0
- 供职机构:山东大学更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信环境科学与工程文化科学更多>>
- 一种GaN衬底生长加热炉温度自整定方法及系统
- 本发明提供一种GaN衬底生长加热炉温度自整定方法及系统,构建神经网络,设置神经网络的转移函数、性能指标、学习率、α因子以及权值初始矩阵;加热炉实际运行时,根据加热炉系统返回现场实际温度,确定神经网络的输入层节点;当加热炉...
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- 文献传递
- 基于互注意力对齐机制的多模态细粒度图像分类方法研究
- 图像分类任务作为计算机视觉领域的一项基本研究任务,其研究成果的实际应用将为人类生活带来极大的便利。目前,虽然图像分类技术在自动驾驶、医学影像分析、智能安防等领域的研究已经得到了巨大发展,但也面临着诸多的困难。而细粒度图像...
- 余平
- 关键词:多模态
- 一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法
- 本公开提供了一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法,包括:反应室,与反应室连接的流量控制通路和微调气路;所述流量控制通路上依次设有真空泵和调节阀;所述微调气路上设有质量流量控制器,微调气路用于通入惰性气体,在质量流量控...
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- 文献传递
- 一种基于激光阵列的钢筋尺寸测量方法及系统
- 本公开公开了一种基于激光阵列的钢筋尺寸测量方法及系统,在无人机飞行拍摄时,将激光阵列投射在地面上形成光斑,通过计算和筛选激光光斑斜率得到平行光斑间距,与已知尺寸的实际间距对应,作为标准比对,通过直线检测拟合钢筋并计算相邻...
- 陈纪旸杜延丽张恒余平马晓静贾磊马思乐栾义忠姜向远岳文斌
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- 一种基于激光阵列的钢筋尺寸测量方法及系统
- 本公开公开了一种基于激光阵列的钢筋尺寸测量方法及系统,在无人机飞行拍摄时,将激光阵列投射在地面上形成光斑,通过计算和筛选激光光斑斜率得到平行光斑间距,与已知尺寸的实际间距对应,作为标准比对,通过直线检测拟合钢筋并计算相邻...
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- 基于蓝宝石衬底生长GaN的立式HVPE控制系统设计
- 2022年
- 为了实现氢化物气相外延(HVPE)技术在蓝宝石衬底上外延生长氮化镓(GaN)过程的全自动控制,进一步提高系统的精确性和稳定性,设计了一种新型HVPE控制系统。该控制系统选用可编程逻辑控制器(PLC)为控制器,采用组态王开发系统监控软件。利用模糊推理机制和仿真分析,设计模糊比例积分微分(PID)控制器,提高反应室温区控制的快速性与稳定性。构建大、小质量流量通路,精准控制HVPE系统压力与质量流量,并进行控制系统性能测试。结果表明,该控制系统能较好地实现对GaN生长过程的自动监控,成功在蓝宝石衬底上生长出高质量6英寸(1英寸=2.54 cm)GaN,与现有的HVPE制备技术及监控手段相比,其自动控制程度更高,系统实时响应更快,更具实际生产应用价值。
- 余平孙文旭修向前马思乐
- 关键词:蓝宝石衬底系统仿真
- 一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法
- 本公开公开了一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法,包括:加热子系统包括至少两组温区,温区内设置加热模块和温度传感器,温度传感器将采集的温区的温度信号经A/D转换后传输到PLC子系统;PLC子系统通过比较温区在加热...
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- 文献传递
- 一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法
- 本公开提供了一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法,包括:反应腔体,与反应腔体连接的尾气处理管道;尾气处理管道内依次设有过渡区、一级沉积区和二级沉积区,尾气处理管道的出口管道与真空泵的一端连接,真空泵另一端与尾气处理装...
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- 大尺寸立式HVPE设备控制系统设计与实现
- 氮化镓(GaN)作为成熟的半导体材料,凭借优异的性能广泛应用于功率和射频等领域。氢化物气相外延(HydrideVaperPhaseEpitaxy,HVPE)法因技术简单且应用成熟,是目前商业上提供GaN材料的首选方法。现...
- 余平
- 关键词:氮化镓氢化物气相外延运动控制温度控制
- 一种用于生长多种尺寸衬底可灵活测温的运动装置及方法
- 本公开公开的一种用于生长多种尺寸衬底可灵活测温的运动装置及方法,包括:设置多种尺寸衬底放置区的衬底托盘和与衬底托盘连接的连接件,连接件与旋转驱动单元连接,经旋转驱动单元带动旋转,旋转驱动单元固定于承片台上,承片台与升降驱...
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