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付小朝

作品数：10 被引量：3H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇桥墩
  • 6篇微桥结构
  • 3篇氮化硅
  • 3篇氮化硅薄膜
  • 3篇氧化钒薄膜
  • 3篇介质
  • 3篇介质薄膜
  • 3篇开关速度
  • 3篇固态器件
  • 3篇硅薄膜
  • 2篇旋涂
  • 2篇柔性传感器
  • 2篇上光
  • 2篇平坦化
  • 2篇孤岛
  • 2篇光学
  • 2篇光学传感器
  • 2篇感器
  • 2篇苯并环丁烯
  • 2篇MOEMS

机构

  • 10篇华中科技大学

作者

  • 10篇付小朝
  • 8篇易新建
  • 8篇陈四海
  • 7篇何少伟
  • 6篇王宏臣
  • 6篇黄光
  • 6篇马宏
  • 2篇潘峰
  • 1篇向思桦
  • 1篇赖建军
  • 1篇汪殿民
  • 1篇柯才军
  • 1篇赵小梅

传媒

  • 2篇半导体光电

年份

  • 2篇2007
  • 3篇2006
  • 4篇2005
  • 1篇2004
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
利用非光敏BCB树脂实现多芯片组件平坦化研究被引量：2
2005年
多层布线和绝缘介质材料的引入使得多芯片组件的芯片表面形貌凸凹不平,采用旋涂介质膜实现芯片表面平坦是常用的平坦化方法。分别介绍了聚酰亚胺、旋涂玻璃膜和苯并环丁烯(BCB)的平坦化特性,论述了非光敏BCB树脂的平坦化工艺原理。在此原理的基础上实现了非致冷红外焦平面的读出电路芯片平坦化,表面台阶从1.39μm下降到0.097μm,平坦度达到93%。
付小朝易新建赵小梅何少伟
关键词：多芯片组件苯并环丁烯平坦化平坦度
一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法
本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒...
陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏
文献传递
32X32微测辐射热计非致冷红外焦平面阵列读出电路的平坦化工艺
付小朝
关键词：微测辐射热计平坦化苯并环丁烯干法刻蚀
基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器
本文基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法.首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔...
陈四海潘峰付小朝柯才军汪殿民向思桦赖建军易新建
关键词：柔性传感器微光机电系统光学传感器MOEMS
一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法
本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒...
陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏
文献传递
一种薄膜微桥结构
本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥...
黄光王宏臣陈四海何少伟付小朝易新建马宏
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一种氧化钒薄膜微型光开关
本实用新型公开了一种氧化钒薄膜微型光开关。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备...
陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏
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基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器被引量：1
2005年
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列，然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构，在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺，并固化，形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性，又具有一定的强度，而且与传统的硅工艺相兼容。
陈四海潘峰付小朝柯才军汪殿民向思桦赖建军易新建
关键词：柔性传感器
一种薄膜微桥结构及其制作方法
本发明公开了一种薄膜微桥结构及其制作方法。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。其步骤包括：在...
黄光王宏臣陈四海何少伟付小朝易新建马宏
文献传递
一种薄膜微桥结构的制作方法
本发明公开了一种薄膜微桥结构的制作方法，其步骤包括：①清洗衬底表面，并进行表面活化；②在衬底表面旋涂一层1-5μm厚的光敏聚酰亚胺薄膜；③对聚酰亚胺薄膜进行光刻处理，形成聚酰亚胺薄膜孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；④用金...
黄光王宏臣陈四海何少伟付小朝易新建马宏
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