陈迪
- 作品数：217 被引量：373H指数：10
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程医药卫生更多>>
- 用于聚合酶链式反应的大面积精确温控系统
- 本发明提供了一种用于聚合酶链式反应的大面积精确温控系统，其包括核酸反应芯片单元、加热单元和风扇单元，所述加热单元设置于核酸反应芯片单元的底部，所述风扇单元设置于加热单元的底部，所述加热单元包括基底设置于所述基底背面的若干...
- 陈迪仇三铭林树靖韦黔崔大祥
- 文献传递
- S型MEMS平面微弹簧的制备和表征研究被引量：2
- 2004年
- 微弹簧是一种重要的微电子机械系统 ( MEMS)器件 ,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力。我们采用 UV- LIGA技术制备出 S型镍平面微弹簧 ,并使用 ANSYS对微弹簧的力学性能进行了模拟。为测试微弹簧的力学性能 ,研制了 1台微弹簧力学性能测试装备。测试结果表明 ,微弹簧可以满足设计需要。另外 ,通过比较得出 :ANSYS对微弹簧力学性能的模拟结果是较为准确的 ,可以作为进一步优化微弹簧设计的基础 ,以满足 MEMS的需要。
- 石磊李建华陈迪倪智萍朱军
- 关键词：微电子机械系统力学性能
- 基于弹性衬底的可拉伸电路板的制备方法及可拉伸电路板
- 本发明提供的一种基于弹性衬底的可拉伸电路板的制备方法及可拉伸电路板，包括如下步骤：步骤1，在模具中制备衬底；步骤2，在所述衬底的表面溅射金属种子层；步骤3，在所述金属种子层的表面旋涂光刻胶，在所述光刻胶上光刻电路版图；步...
- 陈迪林树靖彼得·布兰得利·沙尔谢耀韦黔崔大祥徐俊凯
- 文献传递
- 微流控检测系统、检测方法以及可穿戴设备
- 本发明提供了一种微流控检测系统、检测方法以及可穿戴设备，包括：微流控芯片和电化学传感器；所述微流控芯片包括芯片通道层，所述芯片通道层包括样品检测区；所述电化学传感器被置于所述微流控芯片的内部，且电化学传感器部分或全部暴露...
- 林树靖牛嘉琦陈迪刘岩磊崔胜胜
- 用于太赫兹折叠波导微结构的制备方法
- 本发明提供了一种用于太赫兹折叠波导微结构的制备方法，包括在基板表面制备太赫兹折叠波导微结构粘合层；在粘合层上制备第一层太赫兹折叠波导微结构掩模和电子注通道芯模定位结构；在掩模中制备第一层太赫兹折叠波导微结构；通过减薄抛光...
- 陈迪吁子贤林树靖李其超张笛
- 文献传递
- 一种硬组织增材制造成型性能高通量评价方法
- 本发明提供一种硬组织增材制造成型性能高通量评价方法，包括：提取人体硬组织外观形貌的结构特征，根据该结构特征设计I、L、T和F型典型件；将所述典型件按照与增材制造基板分别呈不同角度摆放呈一行，且按照类别将I、L、T和F型各...
- 康茂东王俊鞠江高海燕陈迪孙宝德
- 文献传递
- LIGA技术X光深层光刻工艺研究被引量：8
- 2000年
- 通过在北京高能所 3W 1束线上进行的X光深层光刻工艺研究 ,获得了侧壁光滑、陡直 ,厚度达 1 0 0 μm ,深宽比达 2 0的光刻胶和金属微结构 ,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
- 陈迪李昌敏章吉良伊福廷周狄郭晓芸
- 关键词：LIGA技术VLSI微机电系统
- DEM技术中微复制工艺研究被引量：7
- 2000年
- 利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构 ,并对PC。
- 陈迪雷蔚李昌敏张卫平蔡炳初
- 关键词：DEM技术微结构
- UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
- 本文基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构...
- 张晔陈迪张金娅朱军刘景全
- 关键词：UV-LIGA技术SU-8光刻胶倒角曝光量
- 文献传递
- 非对称驱动电极的非接触超声微马达
- 一种非对称驱动电极的非接触超声微马达，属于微机电技术领域。本发明包括：基底、压电陶瓷片、金属弹性体、微转子、转轴和四个驱动电极，转轴固定在基底上，压电陶瓷片粘贴在金属弹性体上，压电陶瓷片和转轴间隙配合，微转子设在转轴上，...
- 刘景全杨斌陈迪
- 文献传递
