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郭新军
作品数:
7
被引量:11
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供职机构:
工业和信息化部
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电子电信
文化科学
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合作作者
黄庆红
工业和信息化部
刘雅轩
工业和信息化部
赵聚晟
北京大学信息科学技术学院
王巍
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微系统相关技术最新进展研究
本文首先从概念上对微系统的定义和内涵进行了说明,并着重阐述了微系统与微机电系统(MEMS)的区别。然后分别对微系统集成技术、五大功能模块(处理器、传感器、执行器、通信及能源)以及测试计量、生产制造等最新进展逐一进行了介绍...
郭毅军
郭新军
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(2)
2013年
2012年路线图测试列表中没有重大改动,但增加了一些参数,并对表格进行了一些调整:
解沛轩(译)
郭新军
关键词:
路线图
半导体技术
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(4)
2014年
3.15提高成品率 根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节。因此,提高成品率的活动都集中在这两个方面。
郭新军
解沛轩
关键词:
路线图
半导体技术
成品率
污染控制
晶圆
科技情报机构信息共享平台的设计与实施
信息共享平台的建立,对科技情报机构具有很强的现实意义,本文分析了影响科技情报机构建立信息共享平台的因素,提出了科技情报机构建立信息共享平台的六项原则,并介绍了信息共享的主要技术,文章最后,给出了建立科技情报机构信息共享平...
刘雅轩
郭新军
田素梅
关键词:
科技情报机构
信息共享平台
决策支持能力
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(1)
被引量:11
2013年
国际半导体技术发展路线图(The International Technology Roadmap for Semiconductors,ITRS)自1999年第1版问世后,每偶数年份更新,每奇数年份进行全面修订。ITRS的目标是提供被工业界广泛认同的对未来15年内研发需求的最佳预测,对公司、研发团体和政府都有指导作用。路线图对提高各个层次上研发投资的决策质量都有重要意义。本篇是连载一。
郭新军
解沛轩(校)
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(3)
2014年
将光刻技术向更小尺寸发展一直都很困难,今年也不例外。半导体行业需要在2012年年底之前为22nm半节距DRAM和16nm半节距闪存选择一种光刻方法,但目前为止仍没有明确的选择。氟化氩(ArF)浸入光刻技术并不能在40Hm及更小的半节距尺度有多大发展,
赵聚晟
郭新军
关键词:
半导体技术
路线图
光刻技术
半导体行业
DRAM
美国军用电子元器件技术发展策略
本文概述了美国电子元器件技术进展的现状及趋势,分析了美国军用电子元器件技术发展的策略,主要包括:重视顶层设计并构建军民一体军事技术开发链;实施专项计划快速推进关键技术发展;根据电子元器件技术与军用系统关联程度决定支持力度...
郭新军
黄庆红
田素梅
王巍
关键词:
电子元器件
策略管理
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