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耿文平
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126
被引量:9
H指数:1
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中北大学
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丑修建
中北大学电子与计算机科学技术学...
穆继亮
中北大学信息与通信工程学院仪器...
何剑
中北大学
侯晓娟
中北大学
薛晨阳
中北大学
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2017
4篇
2012
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2010
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一种基于声流控的微量生物分子富集装置及其制备方法
本申请提供了一种基于声流控的微量生物分子富集装置及其制备方法,在微流道层设有若干个液体流道,每个液体流道的两端分别设有液体入口和液体出口,液体流道设有连通相邻液体流道的液体汇集口,并在基底位于液体流道的第一侧且对应液体汇...
耿文平
丑修建
刘玉凯
张亦驰
乔骁骏
侯晓娟
穆继亮
何剑
基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器
本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器,包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块,同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极;柱形聚乙烯拾振单元...
丑修建
穆继亮
徐方良
石树正
高翔
张辉
何剑
耿文平
侯晓娟
薛晨阳
张文栋
基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器
本发明公开了一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,包括框型基座,所述框型基座上的四条边分别通过横梁连接环形连接体,所述环形连接体上安装球形拾振单元,所述球形拾振单元的密度为1g/cm<Sup>3</Sup>...
丑修建
穆继亮
徐方良
高翔
胡磊
石树正
耿文平
薛晨阳
文献传递
一种无线温度监控系统的控制方法
本申请公开了一种无线温度监控系统的控制方法,所述控制方法包括如下:基于温度采集器的第一控制方法以及基于上位机的第二控制方法,其中,所述第一控制方法和所述第二控制方法配合使用。本申请主要应用于无线温度监控系统,通过轮询的方...
穆继亮
张其远
丑修建
耿文平
李修丞
侯晓娟
何剑
文献传递
基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器
本发明公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器,包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜;所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上,环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处,每根...
穆继亮
丑修建
徐方良
胡磊
张辉
石树正
何剑
耿文平
侯晓娟
薛晨阳
张文栋
基于挠曲电极化增强力电耦合机制的PZT基石墨烯复合压感薄膜结构
本发明属于NEMS微压力敏传感设计领域,具体为基于挠曲电极化增强力电耦合机制的PZT基石墨烯复合压感薄膜结构,包括Si/SiO<Sub>2</Sub>基片,Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上设有背腔,Si/SiO...
韩树棋
毕开西
丑修建
耿文平
穆继亮
梅林玉
周思源
付文潇
牛耀凯
栗倩男
张帅
张慧毅
基于气相TMAH的硅刻蚀系统
本发明公开了一种基于气相TMAH的硅刻蚀系统,包括:控制系统、传送系统、刻蚀系统和水冷系统;其中,水冷系统用于冷凝TMAH气体;刻蚀系统用于产生TMAH气体以及输送刻蚀气体至刻蚀腔体刻蚀硅片,刻蚀硅片时刻蚀腔内使用的温度...
丑修建
徐方良
何剑
穆继亮
耿文平
侯晓娟
薛晨阳
胡磊
高翔
石树正
文献传递
一种能量收集设备
本申请公开了一种能量收集设备,包括动能收集部和静能收集部,所述静能收集部和动能收集部固结,所述静能收集部至少部分设置在光环境中,所述静能收集部和所述动能收集部与能量存储装置均连接,其中,所述静能收集部为光能发电机和热能发...
丑修建
何剑
薛晨阳
范雪明
高扬
穆继亮
耿文平
侯晓娟
文献传递
一种基于铌酸锂单晶薄膜的畴壁电流测试元件及其制备方法
本申请提供了一种基于铌酸锂单晶薄膜的畴壁电流测试元件及其制备方法,通过铌酸锂离子注入剥离的方法得到集成在衬底表面的铌酸锂薄膜;在铌酸锂薄膜表面涂覆掩模层,使用紫外光刻法刻蚀图形,在铌酸锂薄膜图形化结构范围内生长电畴;使用...
耿文平
丑修建
何锦龙
乔骁骏
牛丽雅
侯晓娟
穆继亮
何剑
基于场致相变应变效应的反铁电厚膜微悬臂梁驱动构件研究
在外电场诱导作用下,反铁电材料由反铁电态转变为铁电态,同时伴随着材料体积的巨大变化,从而引起极大的相变应变效应,且相变时间极短,因此基于反铁电材料的外场诱导的相变应变效应,利用MEMS技术实现反铁电材料与硅微器件的异质集...
耿文平
关键词:
电场诱导
力学特性
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