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梁秀琴

作品数：8 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 6篇刻蚀
  • 4篇电子束曝光
  • 4篇自对准
  • 4篇干法刻蚀
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻胶
  • 2篇旋涂
  • 2篇掩模
  • 2篇氧化硅
  • 2篇移植性
  • 2篇栅介质
  • 2篇线宽
  • 2篇量子
  • 2篇量子点
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米线
  • 2篇二氧化硅
  • 2篇SIO
  • 1篇掩膜
  • 1篇样片

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇梁秀琴
  • 5篇杨富华
  • 4篇白云霞
  • 4篇张加勇
  • 4篇付英春
  • 4篇季安
  • 4篇马慧莉
  • 2篇刘忠立
  • 2篇司朝伟
  • 2篇宁瑾
  • 2篇韩国威
  • 2篇杨健
  • 2篇高文钰
  • 2篇赵永梅
  • 1篇梁桂荣
  • 1篇聂纪平
  • 1篇李国花
  • 1篇于芳
  • 1篇和致经
  • 1篇张永刚

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇电子学报

年份

  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2012
  • 2篇1999
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法
一种通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法，该方法包括：在衬底上生长电热绝缘材料层及再淀积第一功能材料层；旋涂光刻胶作为牺牲层，光刻，形成条形的光刻胶掩模；通过干法刻蚀第一功能材料层至电热绝缘材料层的上表面，使第一...
付英春王晓峰张加勇白云霞梁秀琴马慧莉季安杨富华
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硅表面清洗对7nm热SiO_2栅介质可靠性的影响被引量：2
1999年
实验研究了硅表面清洗方式对７ｎｍ 热氧化ＳｉＯ２ 栅介质可靠性的影响．结果表明，稀ＨＦ酸漂洗后ＲＣＡ 清洗时降低ＳＣ１（ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）温度对提高栅介质可靠性有利，但仍不如用ＳＣ２（ＨＣｌ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）或Ｈ２ＳＯ４／Ｈ２Ｏ２ 清洗效果好．稀ＨＦ酸漂洗后用Ｈ２ＳＯ４／Ｈ２Ｏ２ 清洗得到的栅介质不仅表现出优良的击穿电场分布特性和击穿电荷分布特性。
高文钰刘忠立和致经张永刚梁秀琴梁桂荣
关键词：二氧化硅可靠性热氧化栅介质
硼扩散引起薄SiO_2栅介质的性能退化被引量：3
1999年
采用表沟ｐ＋多晶硅栅／ＰＭＯＳＦＥＴ代替埋沟ｎ＋多晶硅栅／ＰＭＯＳＦＥＴ具有易于调节阈值电压、降低短沟效应和提高器件开关特性的优点，因而在深亚微米ＣＭＯＳ工艺中被采纳．但是多晶硅掺杂后的高温工艺过程会使硼杂质扩散到薄栅介质和沟道区内，引起阈值电压不稳...
高文钰刘忠立梁秀琴于芳聂纪平李国花
关键词：PMOSFET二氧化硅栅介质硼扩散
通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法
一种通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法，该方法包括：在衬底上生长电热绝缘材料层及再淀积第一功能材料层；旋涂光刻胶作为牺牲层，光刻，形成条形的光刻胶掩模；通过干法刻蚀第一功能材料层至电热绝缘材料层的上表面，使第一...
付英春王晓峰张加勇白云霞梁秀琴马慧莉季安杨富华
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利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法
一种利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法，包括以下步骤：1)在衬底上通过蒸发或溅射工艺生长一层易腐蚀金属；2)在易腐蚀金属的表面旋涂光刻胶，采用常规光刻工艺进行光刻，制作图形；3)采用ICP刻蚀技术刻蚀易腐蚀...
杨健司朝伟韩国威宁瑾赵永梅梁秀琴
文献传递
通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法
一种通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法，包括：在衬底上依次淀积生长电热绝缘材料层、第一功能材料层和牺牲材料层；旋涂SU-8胶并电子束曝光；干法刻蚀至电热绝缘材料层的上表面；淀积第二功能材料层；经电子束曝光形成横...
付英春王晓峰张加勇白云霞梁秀琴马慧莉季安杨富华
在衬底上制备多级台阶的方法
一种在衬底上制备多级台阶的方法，包括：在衬底上生长掩膜层；旋涂第一层光刻胶，刻蚀在掩膜层上得到第一沟槽；在第一沟槽内的掩膜层上旋涂第二层光刻胶，刻蚀在掩膜层得到第二沟槽；依据所需的台阶级数重复上述光刻和刻蚀的步骤，在第二...
杨健司朝伟韩国威宁瑾赵永梅梁秀琴王晓东杨富华
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通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法
一种通用的多种材料间全限制量子点的自对准制备方法，包括：在衬底上依次淀积生长电热绝缘材料层、第一功能材料层和牺牲材料层；旋涂SU-8胶并电子束曝光；干法刻蚀至电热绝缘材料层的上表面；淀积第二功能材料层；经电子束曝光形成横...
付英春王晓峰张加勇白云霞梁秀琴马慧莉季安杨富华
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