林妩媚
- 作品数：127 被引量：133H指数：7
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省高技术研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>
- 一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法
- 本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触...
- 刘卫静李斌诚邢廷文林妩媚
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- 一种高数值孔径浸没投影物镜
- 本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，...
- 朱红伟邢廷文林妩媚白瑜廖志远邓超
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- 一种透过率测量准确性标定方法
- 本发明公开了一种透过率测量准确性标定方法，该方法用于光学元件透过率测量装置的透过率测量准确性标定中。根据光学元件基片透过率稳定的特点，测量光学元件单片及多片组合的透过率，通过比较多个基片的透过率测量值和单个基片测量结果计...
- 刘卫静廖志杰何毅林妩媚邢廷文
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- 一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法
- 本发明提供一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法，解决了高NA光刻技术中输入偏振光束经光刻投影物镜作用后光束偏振度是否满足光刻曝光系统指标要求。该偏振仿真分析方法主要包括设置仿真条件、光线追迹、数据处理、结果判断四个步骤。通过...
- 范真节邢廷文林妩媚廖志杰张海波
- 一种非球面光刻耦合物镜
- 本发明是一种非球面光刻耦合物镜，包括第一透镜组和第二透镜组通过机械组件按间距固定连接，在第一光轴上依次放置第一透镜组、第二透镜组和平面反射镜，平面反射镜的反射面位于第一光轴上并与第一光轴成一角度，依平面反射镜反射光线方向...
- 范真节邢廷文林妩媚白瑜卢亮
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- 一种紫外波段的高像质投影光学系统
- 本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布...
- 白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌邓超廖志远
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- 一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
- 本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经...
- 卢亮张海波林妩媚
- 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法
- 本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在...
- 陈红丽邢廷文林妩媚廖志杰
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- 激光投影显示中二次散射散斑抑制方法被引量：3
- 2009年
- 在光学投影系统中,激光经各种元件散射后在投影屏上形成一次散射散斑,投影屏对激光的再次散射,经人眼成像后在视网膜上形成二次散射散斑。在激光投影系统的照明系统中,引入位相调制器调制照明光束,可抑制在投影屏平面上的一次散射散斑,和投影屏二次散射后在人眼视网膜上的二次散射散斑。通过简化的投影系统,对二次散射散斑形成和抑制进行了理论分析,获得了二次散射散斑抑制的条件和抑制后散斑衬度的规律,并进行了仿真和实验验证。理论结果表明,在一定条件下,一次散射散斑与二次散射散斑的衬度变化规律相同。对简化模型进行了仿真计算,得到在投影屏上的像面散斑衬度为0.0096,在探测器平面上的二次散射散斑的衬度为0.019,表明位相板调制投影系统照明光束能抑制一次散射散斑和二次散射散斑。对理论和仿真结果进行了实验验证。
- 廖志杰邢廷文林妩媚李艳
- 关键词：散斑激光投影显示散射相干性
- 一种确定光刻机最佳焦面位置的装置及方法
- 本发明提供一种确定光刻机最佳焦面位置的测量装置以及方法，所述装置包括照明光源系统、投影物镜成像系统、用于支撑并固定掩模板的掩模台、用于支撑并固定晶片的工作台、波像差传感器以及用于精确定位的干涉仪。所述方法推导了离焦和其他...
- 陈红丽邢廷文廖志杰林妩媚
