张德福
- 作品数：73 被引量：90H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计被引量：3
- 2015年
- 为了找出耦合误差产生的根源,探讨了柔性偏心机构设计方法.首先,给出了机构组成和工作原理;然后,基于柔度矩阵法对机构建模,分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后,综合得到机构的整体柔度.分析结果表明柔度矩阵法得到的输出柔度理论值和有限元法得到的结果误差为8.126%,机构的一阶固有频率为73.78Hz.在40N的驱动力范围内,机构可以实现66.466μm的行程,透镜和机构上的最大应力分别为0.0711 MPa和235.22 MPa,Y/Z/RX/RY/RZ耦合误差和X向行程的比分别为0.0543%、0.0082%、1.218×10-8rad/μm、1.870×10-7rad/μm、6.073×10-7rad/μm.调节后镜片面形PV值优于24nm,RMS值优于5nm,并且主要为像散.通过合理的柔度设计,机构接近完全解耦,揭示了不合理的机构刚度是产生调节耦合误差的根源.
- 张德福李显凌东立剑孙振
- 关键词：光刻物镜
- 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计被引量：3
- 2016年
- 针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型,为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%,刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%,测试精度改善明显,能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效,且建立的机构理论模型和分析方法可信。
- 张德福李显凌葛川倪明阳郭抗
- 关键词：伪刚体模型传感器线性度
- 一种大口径长条形反射镜双轴柔性支撑结构
- 本发明公开了一种大口径长条形反射镜双轴柔性支撑结构，其设置的双轴柔性支撑单元位于殷钢锥套端形成的虚拟截面内周向均匀分布有多个双轴柔性簧带铰链，且双轴柔性支撑单元开设有沿虚拟截面延伸的水平柔性线槽，用于连通相邻的两个双轴柔...
- 徐伟李宗轩马斌张德福李清雅
- 一种光学元件三自由度微位移调节装置
- 本发明公开了一种光学元件三自由度微位移调节装置，包括：镜筒（1）、用于光学元件放置的镜框（2）和分别与镜筒（1）、镜框（2）连接的三自由度调节装置，该三自由度调节装置可驱动镜框（2）相对镜筒（1）沿X、Y、Z三个自由度进...
- 张德福李显凌倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种空间光学反射镜的多孔轻量化结构的建模与优化方法
- 本发明涉及一种空间光学反射镜的多孔轻量化结构的建模与优化方法，包括以下步骤：计算反射镜镜面变形敏感度分布；加权采样获得初始Voronoi站点与结构；整体迭代与局部优化；匹配融合获得反射镜多孔轻量化结构模型。通过本发明的方...
- 李宗轩张昌昊张德福李清雅任书慧
- 基于像素级偏振片的消畸变超微纳光学系统
- 基于像素级偏振片的消畸变超微纳光学系统，涉及空间光学技术领域。解决现有星载海洋遥感中系统实现成本高、结构复杂、无法实时观测等问题，包括地面矫正镜与航天防辐射镜组、双高斯成像镜组、像质矫正镜组、像素级探测器等四部分组成。目...
- 杨秀彬岳炜常琳张德福周美丽
- 文献传递
- 一种中心支撑的碳纤维多功能遥感相机
- 本发明公开了一种中心支撑的碳纤维多功能遥感相机，包括：可见光相机、碳纤维承力塔组件和红外相机，可见光相机和红外相机通过碳纤维承力塔组件同轴连接；其中，所述可见光相机包括：碳纤维第三反射镜组件、碳纤维第四反射镜组件和可见光...
- 张德福徐伟李宗轩王天聪谢晓光
- 1.8 m空间长条反射镜柔性支撑技术研究被引量：2
- 2022年
- 1.8 m×0.5 m口径的长条形主反射镜是某空间离轴三反光学系统的重要光学元件,其面形精度的好坏是决定光学系统在轨成像质量的关键。为保证主镜组件结构的稳定性、可靠性及反射镜的面形精度,提出一种适用于大尺寸长条形反射镜的双轴柔性支撑结构。首先,基于运动学等效原理提出双轴柔性支撑的初始结构,建立了柔性环节刚度数学模型并研究了其刚度特性。然后,对柔性支撑的安装位置进行了参数化研究并对柔性支撑的关键尺寸进行了优化设计。最后,确定了反射镜组件的最终设计方案。仿真与试验结果表明,反射镜组件一阶固有频率为104 Hz。X/Y两个光轴分别对径向施加1 G重力时面形精度RMS值分别为4.81 nm、6.09 nm,优于λ/50(λ=632.8 nm),均满足设计要求。组件正样动力学环境试验表明,反射镜组件的动力学特性良好,柔性支撑系统稳定可靠,与仿真结果一致。目前反射镜全口径面形精度已加工至λ/30 RMS,并在此精度下进行了自重0°/180°的±1 G面形检测试验,结果显示其稳定性良好。
- 李宗轩张昌昊张德福张德福李云峰
- 关键词：空间光学离轴三反光学系统有限元方法动力学实验
- 平板电容位移传感器标定装置
- 平板电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域，为了克服现有技术中标定装置的标定行程小；不能进行连续的实时标定；并且传感器其标定精度有限的缺点；激光干涉仪发出的光通过微位移调整机构后入射到分光镜；分光镜安装到微位移调...
- 张德福郭抗李显凌李朋志
- 文献传递
- 光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机
- 本发明提供的光学元件六自由度定位调节装置，包括镜筒、三组用于进行双自由度调节的调节支链及用于承载光学元件的支撑镜框，所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接，所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连...
- 张德福李显凌倪明阳隋永新杨怀江
- 文献传递
