夏义本
- 作品数:207 被引量:458H指数:10
- 供职机构:上海大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金“上海-应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术天文地球更多>>
- CVD金刚石紫外探测器
- CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾.
- 楼燕燕王林军张明龙顾蓓蓓苏青峰夏义本
- 关键词:紫外探测器金刚石膜
- 文献传递
- C_(60)-甲苯衍生物对酞菁铜/C_(60)薄膜光电性能的影响被引量:1
- 2003年
- 从光电导时间关系、瞬态光电导能谱和光诱导放电曲线 (PIDC)等方面研究C6 0 甲苯衍生物对酞菁铜(CuPc) C6 0 薄膜光电性能的影响 ,并对其机理进行了探讨。C6 0 甲苯衍生物对C6 0 甲苯衍生物 CuPc C6 0 多层膜的光电性能具有明显的增强效应。
- 沈悦张建成顾峰陈建明夏义本
- 关键词:光电材料酞菁铜光电性能碳60
- X射线光刻掩模版的制备方法
- 本发明涉及一种X射线光刻掩模版的制备方法,属光刻掩模版制造技术领域。本发明主要采用热丝化学气相沉积法沉积的金刚石薄膜作为X射线光刻掩模基膜材料,并通过改进的工艺参数和后期处理工艺,改善金刚石薄膜的性能,提高金刚石薄膜的光...
- 王林军夏义本任玲蒋丽雯刘健敏苏青峰
- 文献传递
- 不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究被引量:8
- 2006年
- 采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5-12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10^-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低干(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优干(111)取向膜。
- 苏青峰夏义本王林军刘健敏史伟民
- 关键词:CVD金刚石膜折射率消光系数
- 氧化铝陶瓷/金刚石膜复合材料的表征及介电性质研究被引量:2
- 1998年
- 采用MPCVD和HFCVD在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman散射分析表征了沉积膜的质量,并测定和分析了氧化铝/金刚石膜复合材料的介电性质.
- 莫要武夏义本辛吉升黄晓琴王鸿
- 关键词:金刚石薄膜氧化铝陶瓷复合材料
- MPCVD法沉积金刚石薄膜中等离子体光谱
- 1995年
- 从等离子体发射光谱变化这一角度研究在不同沉积条件下等离子体中电子平均能量的特点,分析碳源气体分子与电子的碰撞以及碳氢基团的能态变化,从而对等离子体法沉积金刚石薄膜微观机理进行初步的探索。
- 周明华夏义本张虚白王鸿
- 关键词:等离子体光谱金刚石
- 生长条件和退火对金刚石薄膜光学性质的影响被引量:3
- 2003年
- 提出一种分析微波等离子体化学气相沉积工艺条件对金刚石薄膜的组成和光学性质影响的方法。采用红外椭圆偏振光谱仪来分析Si衬底上金刚石薄膜的组成和光学性质 ,研究微波等离子体化学气相沉积法生长条件和退火工艺对金刚石薄膜的消光系数和折射率的影响。实验表明金刚石薄膜中存在C -H、C =C、O -H和C =O键 ,生长条件对薄膜中C -H和C =C键的含量及薄膜的折射率影响较大 ;薄膜经过退火后薄膜的光学性质得到明显改善。
- 马哲国夏义本王林军方志军张伟丽张明龙
- 关键词:金刚石薄膜光学性质退火
- 一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法
- 本发明涉及一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法,该方法主要步骤:硅衬底预处理后放入微波等离子体化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底;在甲烷与氢气的混合反应气体中进行金刚石薄膜生长,然后用进行氢等离子体刻蚀,即得p...
- 王林军黄健赖建明唐可管玉兰夏义本
- 文献传递
- [101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究被引量:11
- 2007年
- 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm附近的带边发射(NBE)峰;在560~580℃热处理下,其晶胞变小、光学带隙变窄、360nm左右的带间发光峰红移;当热处理温度升至610℃时,薄膜中再次出现380nm的NBE峰.
- 朱兴文李勇强陆液李英伟夏义本
- 关键词:ZNO薄膜PL谱
- 合成红色绿柱石中通道水分子构型及~1H和^(23)Na核磁共振谱表征被引量:3
- 2002年
- 以水热法合成贫碱型红色绿柱石和天然富碱、贫碱型绿柱石为研究对象 ,采用 VU,IR,NMR测试方法 ,重点对绿柱石中通道水分子的构型及与钠离子的耦合关系进行研究。结果表明 ,贫碱型水热法合成红色绿柱石中 型和 型通道水分子并存 ,但以 型通道水分子的丰度明显占优。合成红色绿柱石的 1H NMR谱属典型的两自旋系 ,分属两个独立的共振信号。中心共振谱峰 (δ=1 .7× 1 0 -6)与 Be—OH—Al有关 ,为 型通道水分子的表征。伴生共振谱峰 (δ=4.9× 1 0 -6)与 H—O…Na有关 ,代表 型通道水分子。2 3 Na NMR谱中心线的化学位移随通道中 Na离子浓度的增大而发生有规律的变化 ,表现为2 3 Na的共振谱峰自高场区向低场区偏移 ,分裂强度增大 ,裂距和半峰宽减小。同时 ,1H NMR的峰形自双自旋系向单自旋系转化。证实合成红色绿柱石中通道水分子与碱金属离子之间存在明显的耦合关系。
- 亓利剑夏义本袁心强
- 关键词:核磁共振谱水热法