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佘东生

作品数：120 被引量：66H指数：6
供职机构：渤海大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 100篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 28篇自动化与计算...
  • 13篇机械工程
  • 4篇金属学及工艺
  • 2篇化学工程
  • 2篇理学
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇电气工程

主题

  • 77篇MEMS微结...
  • 60篇平行度
  • 60篇平行度误差
  • 44篇压电
  • 44篇压电陶瓷
  • 44篇力测量
  • 34篇轴式
  • 30篇三轴式
  • 28篇动态特性
  • 27篇动态特性测试
  • 24篇工作表面
  • 22篇套筒
  • 19篇激波
  • 16篇电容
  • 16篇高压电容
  • 14篇球头
  • 14篇微器件
  • 14篇加载
  • 10篇电联接
  • 9篇压电陶瓷驱动

机构

  • 107篇渤海大学
  • 22篇大连理工大学
  • 1篇大连工业大学
  • 1篇辽河油田分公...

作者

  • 120篇佘东生
  • 46篇魏泽飞
  • 36篇杨一柳
  • 30篇伦淑娴
  • 30篇于震
  • 25篇刘继行
  • 23篇杨祯山
  • 21篇尹作友
  • 17篇李琨
  • 16篇王巍
  • 16篇魏洪峰
  • 16篇韩建群
  • 15篇赵辉
  • 15篇韩莹
  • 13篇王立鼎
  • 13篇赵玉峰
  • 12篇巫庆辉
  • 12篇张博
  • 11篇王春杰
  • 10篇郭兆正

传媒

  • 4篇仪器仪表学报
  • 3篇渤海大学学报...
  • 2篇表面技术
  • 2篇测试技术学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇化工学报
  • 1篇电镀与涂饰
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇国外电子测量...
  • 1篇机械科学与技...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 4篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 32篇2019
  • 37篇2018
  • 23篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 4篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2006
共 120 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS微结构四轴式激励装置
本发明公开一种MEMS微结构四轴式激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，...
佘东生赵玉峰杨祯山尹作友韩建群李浩
一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置
本发明公开了一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，包括设在基板上的支座和椭球腔体，椭球腔体由下腔体和上腔体连接而成且内腔形成多半个椭球面；在下腔体内设有安装座，在安装座上端设有二个针电极；二个针电极针尖...
佘东生杨一柳于震萨初荣贵李琨
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用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式底座激励装置
本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽...
佘东生王巍魏洪峰周建壮韩建群刘闯
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一种基于压电陶瓷的MEMS微结构三轴式底座激励装置
本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构三轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上联接块、钢球、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒内下部安装有电动丝杠传动机构，用于带动下联接块移动；在上联接块...
佘东生王巍韩建群刘继行巫庆辉伦淑娴
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一种可动态驱动MEMS微结构的三轴式激励装置
本发明公开一种可动态驱动MEMS微结构的三轴式激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导...
佘东生于震周鑫洪以平伦淑娴王兆峰
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一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置
本发明公开了一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，在椭球腔体一侧设有第一针电极单元，其第一针电极针尖指向...
佘东生杨一柳赵玉峰尹作友赵辉
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一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置
本发明公开了一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在顶板和底...
佘东生魏泽飞尹作友刘继行杨祯山付莹
一种基于压电陶瓷的MEMS微结构四轴式底座激励装置
本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构四轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上联接块、钢球、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒内下部安装有电动丝杠传动机构，用于带动下联接块移动；在上联接块...
佘东生魏泽飞魏洪峰张博王春杰巫庆辉
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一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置
本发明公开了一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有针电极单元，其针电极指向微结构单元；微结构单元包括安装套，其安装孔内设有弹性底座和加热...
佘东生杨一柳魏泽飞李琨韩莹
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一种用于MEMS动态特性测试的底座激励装置
本发明公开了一种用于MEMS微结构或微器件动态特性测试的激励装置，属于微型机械电子系统。该装置的结构为：待测微结构安装在顶部的十字弹簧片上，十字弹簧片通过螺钉安装在套筒顶部；压电陶瓷、上联接块、钢球、下联接块、压力传感器...
佘东生王晓东张习文李晓轲王立鼎
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