高晓斌
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 提高并行共焦探测精度的方法研究
- 随着MEMS技术的不断发展，越来越多的微器件需要进行精密三维测量。如何快速准确检测微观轮廓形貌，已成为现代精密测试技术与仪器研究的重要课题，所研究的并行共焦探测方法是使微小轮廓的快速高精度检测成为可能。
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- 高晓斌
- 关键词：共焦显微镜三维形貌
- 文献传递
- 并行共焦探测系统的数据处理与三维信息获取被引量：1
- 2004年
- 共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用。文章针对并行共焦探测系统,介绍了共焦系统图像数据处理与三维信息获取算法,提出利用插值方法来获取三维数据,提高系统测量速度和精度。编制了并行共焦探测的数据图像采集与处理专用软件,采用了基于Windows界面的模块化结构设计,具有图像采集、纵向步进控制和数据处理与三维重构等多个功能模块。
- 王永红高晓斌
- 关键词：共焦三维形貌插值算法
- 一种并行共焦显微镜的设计与研制被引量：2
- 2005年
- 并行共焦显微镜是一种综合了光学、机械、电子、计算机及数字图像处理等技术,具有较高的横向和纵向分辨力的新颖三维表面无损检测仪器.为了保证其装配调节方便,在关键部件的结构设计上采用了微调结构,主要介绍了并行共焦显微镜的光学系统、物镜组设计、关键部件的微调结构设计及结构组成。
- 高晓斌余晓芬
- 一种提高并行共焦显微测量重复性精度的方法被引量：1
- 2004年
- 并行共焦测量是利用微透镜和小孔列阵产生一个二维点光源阵列,实现对物面上一个二维阵列物点的同步共焦测量。传统的共焦显微测量系统对三维形貌进行重构,是通过搜索各个轴向扫描图像中光斑光强极值点的位置来获取三维轮廓,轴向扫描间距的选取对测量精度和重复性的影响很大。文章介绍了一种新的数据处理方法,其先对各物点的轴向光强采样值进行线性拟合,再由拟合得到的直线确定最大光强所对应的轴截面位置,这样可以在较大的轴向采样间距下获得较高精度的三维轮廓信息。实验结果表明,采用这种数据处理方法,测量精度和重复性精度均有所提高。
- 高晓斌王永红
- 关键词：三维形貌
