韩郑生 作品数:652 被引量:237 H指数:7 供职机构: 中国科学院微电子研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 更多>>
磁存储器驱动电路界面平坦化研究 2006年 利用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对磁存储器(MRAM)驱动电路与存储单元--磁性隧道结(MTJ)的连接界面的表面平坦化进行了研究.原子力显微镜照片表明:磁控溅射沉积的金属铝膜的表面由尺寸约为300nm的颗粒组成,其表面粗糙度约为几十纳米的量级,用统计平均值(均方根值root mean square,RMS)描述约为10nm;在铝膜的表面沉积一层难溶金属Ti或Ta膜以后,可很好地改善过渡层金属表面的平坦化效果.通过用化学机械平坦化设备(chemical mechanical planarization,CMP)在小压力和低转速的条件下,可使过渡层金属表面的RMS值达到小于1nm的平坦化效果.扫描电镜照片的结果也显示:利用光刻胶平坦化,然后通过调节反应离子刻蚀的条件,使刻蚀的过程中对氧化硅和光刻胶的刻蚀速率相等,去掉光刻胶,达到平坦化整个芯片表面的效果. 杜寰 赵玉印 韩郑生 夏洋 张志纯关键词:磁存储器 平坦化 表面粗糙度 均方根值 一种适用于D类音频功放的LDMOS设计与模拟 本文根据RESURF原理,模拟实现了一种适用于D类音频功放的LDMOS器件,其工艺流程参考中国科学院微电子研究所标准BiCMOS工艺,利用TSUPREM-4软件对其进行了工艺模拟,根据工艺模拟的结果,又利用MIDICI进... 许高博 韩郑生关键词:音频功放 集成电路 文献传递 一种宏单元、二进制码到温度计码的译码方法及译码电路 本发明公开了一种宏单元,该宏单元包括一个二输入的或门和一个二输入的与门。应用该宏单元的二进制码到温度计码的译码方法逻辑深度小。同时,本发明公开了一种二进制码到温度计码的译码方法,该方法包括将n位数字信号划分为基数为2的二... 赵博华 黄苒 杜寰 罗家俊 韩郑生文献传递 MOS器件的建模方法 本发明提供一种MOS器件的建模方法,包括:建立定义与STI相关的尺寸的一组参数,其中至少一个参数定义了STI的宽度或者栅宽方向上到STI的距离;建立所述一组参数对阈值电压和迁移率的影响的解析模型,所述解析模型包含待确定的... 卜建辉 毕津顺 梅博 罗家俊 韩郑生文献传递 一种半导体器件及制作方法 本申请提供了一种半导体器件及制作方法,该半导体器件包括:衬底;位于所述衬底一侧表面上的配置层,所述配置层包括第一区域和第二区域,所述第一区域和所述第二区域的掺杂类型相反,以在二者界面形成PN结;位于所述配置层背离所述衬底... 陆芃 孙一超 高见头 李博 韩郑生一种MOS栅控晶闸管 本发明提供一种MOS栅控晶闸管。所述MOS栅控晶闸管包括阴极、栅极和阳极三个电极,其中,所述栅极包括NMOS和PMOS,所述MOS栅控晶闸管还包括N‑P‑N‑P四层结构区和P<Sup>+</Sup>扩散区,其中,所述N‑... 胡飞 宋李梅 韩郑生 杜寰文献传递 基于NMOS温度补偿特性基准电压产生电路及设计方法和装置 本发明涉及基准电压技术领域,具体涉及一种基于NMOS温度补偿特性基准电压产生电路及设计方法和装置。该电路中,MP1的源极接工作电压VDD;MP1的漏极通过R1接MN1的漏极;MP1的漏极还依次通过R2和分压电路接地;MN... 赵文欣 许婷 刘海南 罗家俊 韩郑生 赵发展一种电压基准电路、元器件及设备 本发明公开了一种电压基准电路、元器件及设备,通过将第一PMOS管的源极和第二PMOS管的源极与电源端连接;电容的一端、第一PMOS管的栅极和漏极、第二PMOS管的栅极,以及第二NMOS管的漏极相互连接;第二PMOS管的漏... 赵文欣 丁一男 刘海南 罗家俊 韩郑生 赵发展栅极触发PDSOI CMOS闩锁效应研究 2009年 测试了不同静态栅极触发电压(输入电压)下诱发CMOS闩锁效应需要的电源电压和输出电压(即将闩锁时的输出电压),发现静态栅极触发CMOS闩锁效应存在触发电流限制和维持电压限制两种闩锁触发限制模式,并且此栅极触发电压-输出电压曲线是动态栅极触发CMOS闩锁效应敏感区域与非敏感区域的分界线。通过改变输出端负载电容,测试出了不同电源电压下CMOS闩锁效应需要的栅极触发电压临界下降沿,并拟合出了0 pF负载电容时的临界下降沿,最终得出了PDSOI CMOS电路存在的CMOS闩锁效应很难通过电学方法测试出来的结论。 曾传滨 海潮和 李多力 韩郑生关键词:金属氧化物半导体 绝缘体上硅 闩锁 部分耗尽SOI MOSFET NBTI效应研究 被引量:1 2020年 NBTI效应严重影响了器件的高温可靠性,本文对基于1.2μm工艺的PDSOI器件进行了NBTI效应研究。通过加速应力试验得到了NBTI效应对PDSOI器件阈值电压漂移的影响,其主要影响因素有应力时间、温度和栅偏压。试验中通过Vg模型对PDSOI器件进行了NBTI效应寿命预测,实现了对自有1.2μm工艺PDSOI器件的高温可靠性评价。 王成成 周龙达 蒲石 王芳 杨红 王芳 杨红 曾传滨 韩郑生关键词:负偏压温度不稳定性 PDSOI 阈值电压 可靠性