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郭小松

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：兰州大学更多>>
发文基金：国家基础科学人才培养基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇热丝
  • 2篇热丝化学气相...
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇HWCVD
  • 2篇衬底
  • 2篇衬底温度
  • 1篇原子
  • 1篇氢原子
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇玻璃衬底

机构

  • 2篇兰州大学

作者

  • 2篇郭小松
  • 1篇傅杰财
  • 1篇刘滨
  • 1篇谢二庆
  • 1篇张俊丽

传媒

  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
HWCVD在玻璃衬底上沉积硅薄膜的研究被引量：1
2010年
采用热丝化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积硅薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱分析表征样品的形貌和结晶性,较为系统地研究了硅烷浓度、衬底到热丝的距离对硅薄膜生长过程及各种性质的影响,结果表明,较高的衬底温度及较低的硅烷浓度有利于薄膜的结晶。
张俊丽傅杰财郭小松刘滨谢二庆
关键词：热丝化学气相沉积硅薄膜衬底温度
热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究
目前,硅薄膜太阳能电池的研究已成为国际光伏领域研究热点。硅薄膜太阳能电池相对于单晶硅和多晶硅太阳能电池而言,具有耗材少,成本低的特点。尤其是廉价衬底的引入,使硅薄膜太阳能电池在成本控制方面具有更强的市场竞争力。同时氢化硅...
郭小松
关键词：HWCVD衬底温度氢原子
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