郑晓虎
- 作品数：57 被引量：115H指数：7
- 供职机构：淮阴工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信冶金工程更多>>
- 基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制被引量：2
- 2007年
- 提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中,两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上,分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV-LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号,而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时,敏感线圈的输出电压达30mV,并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为5mm×1.6mm,易于集成,能实现对微位移的检测。
- 郑晓虎朱荻
- 关键词：电涡流
- 圆周阵列分布的异形群孔电解加工专机
- 本发明提供一种圆周阵列分布的异形群孔电解加工专机，包括：箱体；运动限制盘，运动限制盘上槽；轴；驱动盘，驱动盘的下端面具有涡状凹槽；电极驱动臂，电极驱动臂连接用于安装电极的工具电极装置，电极驱动臂上端具有啮合齿，电极驱动臂...
- 郑晓虎谷洲之
- 文献传递
- 模糊神经网络在UV-LIGA工艺优化中的应用被引量：20
- 2006年
- 将模糊神经网络理论和算法应用于负性光刻胶（SU-8）加工高分辨率和高深宽比微结构的工艺研究，在正交试验的基础上对网络进行训练，建立了光刻图形质量与前烘时间、前烘温度、曝光量、后烘时间之间的预测模型。该模型采用五层前向模糊神经网络，学习算法为梯度下降法。进行了实验，实验结果表明，前烘温度与前烘时间对光刻质量影响最大。对120～340μm厚的光刻胶，前烘温度取95℃，前烘时间100min时，图形的相对线宽差最小；超声搅拌能缩短显影时间，显著改善图形质量，试验结果与计算结果十分吻合。将模糊神经网络应用于UV-LIGA工艺中，能实现光刻加工微结构的工艺参数优化。
- 郑晓虎朱荻
- 关键词：UV-LIGA模糊神经网络工艺参数
- 飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法
- 本发明公开了一种利用飞秒激光无掩膜法制备磁敏感微结构单元的方法，包括以下步骤：（1）按衬底、缓冲层、磁性层、保护层的顺序沉积制作磁性薄膜；（2）利用飞秒激光作为光源，通过计算机精确控制样品台的位置，对磁性薄膜进行无掩膜辐...
- 周广宏朱雨富潘旋章跃丁红燕郑晓虎夏木建
- 文献传递
- 回转体表面异形阵列孔高效电火花加工装置
- 本发明提供一种回转体表面异形阵列孔高效电火花加工装置，包括箱体；支架；传动螺杆；轴；升降块；驱动锥；导向凹槽；电极驱动臂；工具电极装置；导向轮，定位块；弹簧；工作液槽。通过驱动锥导向凹槽、定位块、弹簧与电极驱动臂的配合的...
- 郑晓虎殷永华
- 文献传递
- 一种旋转式超声复合套料电解加工装置及方法
- 本发明涉及一种旋转式超声复合套料电解加工装置及方法。装置包括基准台、绝缘密封夹具、片状合金电极、磨削室套筒、阵列超声片和陶瓷磨粒。加工过程中，工件与片状合金电极外接加工直流电源，同时电化学溶液经绝缘密封夹具入口流入，并从...
- 谷洲之张杰郑晓虎许兆美吕建强汤强
- 文献传递
- 金属微结构阵列的电铸成型被引量：9
- 2008年
- 在分析微细电铸的电场与流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式和电流密度对微细电铸质量的影响。由于高深宽比胶膜的存在,单一搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分,扩散过程成为金属沉积的限制性因素;随着胶膜深宽比的增大,电场等势线弯曲的程度加大,导致电铸微区内金属离子传输能力不均匀。实验表明:微细电铸过程中,搅拌速度提高并不能改善金属沉积的传质条件,辅助超声的复合搅拌在相同条件下能提高金属沉积速度,减少铸层缺陷;最佳电流密度不宜超过0.9~1.0 A/dm2。基于该项技术,实现了高分辨率、侧壁陡直金属微结构的电铸成型。
- 郑晓虎朱荻
- 关键词：UV-LIGA微结构仿真
- 基于参数化的三维齿轮精确模型的实现被引量：4
- 2005年
- 阐述了在Solidworks平台中实现三维模型参数化设计的方法,讨论了ActiveXAu tomation对象及其方法和属性的操作的机理,结合斜齿轮齿廓曲线的形成机理,对采用通用软件开发工具实现圆柱齿轮三维精确模型的建立过程进行详细介绍,具有较强的工程实用性。
- 郑晓虎
- 关键词：SOLIDWORKS齿轮模型参数化设计
- 一种新型梳齿驱动式微镜被引量：1
- 2005年
- 提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构,通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动,带动镜面发生偏转。研究表明:在外加电压为101V时,微镜的转动范围达15.4°,超过平行板驱动微镜。同时,采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示:其固有频率、抗干扰性高于平行板驱动微镜。
- 郑晓虎刘芳华王明娣
- 关键词：仿真模拟
- 间隙条件下金属材料缺陷检测微传感器
- 本实用新型的用于间隙条件下金属材料缺陷检测涡流传感器，属于检测技术领域。该传感器包括微米尺度平面线圈(1)，线圈线距小于30-50微米、线宽小于60-80微米、线圈厚度小于100微米；采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯(...
- 郑晓虎
- 文献传递
