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许谷城
作品数:
1
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供职机构:
复旦大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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郭育林
复旦大学
周嘉
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黄宜平
复旦大学
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2006
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光致硅微悬臂梁形变理论研究
2006年
研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.
郭育林
许谷城
周嘉
黄宜平
鲍敏杭
关键词:
微悬臂梁
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