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王菁

作品数：7 被引量：89H指数：4
供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇脉冲激光
  • 4篇脉冲激光沉积
  • 4篇激光
  • 3篇探测器
  • 3篇脉冲
  • 3篇红外
  • 3篇红外探测
  • 3篇红外探测器
  • 2篇硅基
  • 2篇PTSI
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硼
  • 1篇势垒
  • 1篇肖特基
  • 1篇肖特基势垒
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束辅助
  • 1篇立方氮化硼
  • 1篇界面态
  • 1篇激光分子束外...

机构

  • 6篇哈尔滨工业大...
  • 4篇中国科学院兰...

作者

  • 7篇王菁
  • 6篇李美成
  • 6篇杨建平
  • 6篇陈学康
  • 5篇赵连城
  • 3篇吴敢
  • 2篇蔡伟
  • 1篇殷景华
  • 1篇王中

传媒

  • 2篇功能材料
  • 2篇真空与低温
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇半导体光电

年份

  • 2篇2001
  • 4篇2000
  • 1篇1999
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
PtSi红外探测器材料制备技术
2000年
介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等 Pt Si薄膜的制备方法及应用进展。着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点。
李美成蔡伟王中赵连城陈学康杨建平王菁吴敢
关键词：红外探测器PTSI
c-BN薄膜研究进展被引量：8
1999年
立方氮化硼（ｃ－ ＢＮ） 在机械、热、电子及光学方面有许多优异性能，因此世界上有很多研究人员从事ｃ－ ＢＮ 薄膜制备的研究，近年来薄膜沉积技术和ｃ－ ＢＮ 薄膜质量都已取得显著进步。介绍ｃ － ＢＮ 薄膜的用途、结构、制备方法及存在的问题。重点总结了控制ｃ－ ＢＮ 相形成的关键因素及ｃ－ ＢＮ 相形成机理。
李勇华陈学康雷占许吴敢杨建平王菁
关键词：脉冲激光立方氮化硼离子束辅助
硅基PtSi纳米薄膜制备及应用研究进展被引量：5
2001年
ＰｔＳｉ红外探测器是一种重要的光电器件．在军事和民用方面均起着非常重要的作用。高质量硅基ＰｔＳｉ 薄膜的制备是高性能器件研制的基础。本文介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等制备ＰｔＳｉ 薄膜的方法。并评述了ＰｔＳｉ红外探测器的最新应用研究进展及发展趋势。
李美成殷景华蔡伟赵连城陈学康杨建平王菁
关键词：红外探测器脉冲激光沉积激光分子束外延
脉冲激光纳米薄膜制备技术被引量：27
2000年
脉冲激光薄膜沉积 (PLD)是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了该技术的物理原理 ;探讨了脉冲激光沉积制膜的物理过程 ,激光作用的极端条件及等离子体羽辉形成的控制对薄膜成长的影响 ;评价了脉冲激光沉积技术在多种功能材料薄膜 ,特别是纳米薄膜及多层结构薄膜的制备方面的特点和优势。结合自行研制的设备 ,介绍了在PLD基础上发展起来的兼具分子束外延 (MBE)技术特点的激光分子束外延技术 (L MBE)。指出脉冲激光沉积技术在探讨激光与物质相互作用和薄膜成膜机理方面的作用 ,尤其是激光分子束外延技术在高质量的纳米薄膜和超晶格等人工设计薄膜的制备上显现出的巨大潜力。
李美成陈学康杨建平王菁赵连城
关键词：脉冲激光沉积
脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜
2001年
用脉冲激光沉积制备了纳米级 Ｐｔ／Ｓｉ异质层．对脉冲激光退火形成超薄 ＰｔＳｉ 薄膜进行了研究。对于 Ｐｔ、Ｓｉ互扩散反应形成 Ｐｔ２Ｓｉ和 ＰｔＳｉ的过程利用 ＸＰＳ进行了测试分析，通过ＸＰＳ和ＡＦＭ等分析测试手段对不同参数激光退火形成的ＰｔＳｉ薄膜的结构特性进行观测。我们获得了均匀的、超薄连续的ＰｔＳｉ层且具有平滑的 ＰｔＳｉ／Ｓｉ 界面。
李美成杨建平王菁陈学康赵连城
关键词：脉冲激光沉积激光退火
降低肖特基势垒高度的途径探讨被引量：4
2000年
通过深入地分析影响金属 -半导体肖特基势垒的各种因素 ,探讨了几种降低肖特基势垒高度的途径 ,其中 ,特别是通过汽相激光诱导化学掺杂技术在金属 -半导体界面上制作一足够薄的高掺杂层 ,可以使肖特基势垒高度得到显著降低。这种技术的应用 ,对在PtSi/Si界面上制作超浅结和在半导体器件中制作良好的欧姆接触提供了广阔的应用前景。
王菁李美成吴敢李勇华杨建平雷占许李东辉陈学康
关键词：肖特基势垒界面态
脉冲激光薄膜制备技术被引量：47
2000年
脉冲激光薄膜沉积是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了脉冲激光薄膜沉积技术的物理原理、独具的特点和研究发展动态。
李美成杨建平王菁吴敢李勇华雷占许赵连城陈学康
关键词：脉冲激光沉积红外探测器
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