王筠
- 作品数:54 被引量:81H指数:5
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- 相关领域:化学工程理学文化科学石油与天然气工程更多>>
- 单组分化学增幅型光致抗蚀剂LB膜的制备及光刻应用被引量:1
- 2015年
- 合成了光致产酸剂N-对甲苯磺酸酯马来酰亚胺(TsOMI),及其与十二烷基甲基丙烯酰胺(DDMA)、对叔丁氧基苯乙烯碳酸酯(t-BOCSt)聚合得到三元共聚物。研究了该聚合物分子在气/液界面的成膜性,LB膜的光敏性和光刻性能。结果表明:该聚合物分子可在不同材质的基板上制备规整均匀的LB膜,在250nm紫外光照下,LB膜表现出化学增幅作用。以40层该聚合物LB膜为抗蚀层,经紫外曝光20min、显影10s后可得到分辨率为0.75μm(该掩膜所能达到的最大分辨率)的正型LB膜图形,进一步刻蚀得到分辨率为0.75μm的金膜图形。
- 王筠杨志广杨欢欢李铁生
- 关键词:光刻
- 一种氧空位WO<Sub>3-X</Sub>粉体材料的快速制备方法
- 本发明公开了一种氧空位WO<Sub>3‑X</Sub>粉体材料的快速制备方法,包括如下步骤:将WO<Sub>3</Sub>粉体放置于等离子体化学气相沉积装置中;控制真空管式炉的真空度至10‑30mbar,通入工作气体至等...
- 杨志广石晓明武文彭鹏李可王筠
- 文献传递
- N-十二烷基丙烯酰胺的合成研究被引量:1
- 2013年
- 以十二伯胺和丙烯酸为原料在室温条件下合成N-十二烷基丙烯酰胺,其结构经IR、1H NMR鉴定表征.通过单因素实验研究了溶剂种类、反应温度、反应时间及物料配比对产物产率的影响,从而建立正交实验得出合成N-十六烷基丙烯酰胺的最优工艺条件:以氯仿为溶剂,反应温度25℃,反应时间4 h,物料配比为1∶1.1时,平均产率达到80%.
- 王筠刘芳李全良许文俭李铁生
- 关键词:正交试验
- 赖氨酸与酸酐合成酰胺化合物的方法探究被引量:1
- 2013年
- 以赖氨酸和酸酐为原料合成了含羧基和氨基的酰胺类化合物。考察了溶剂、原料配比、反应温度、反应时间对产率的影响,确定了最佳反应条件,提高了合成产率。最后用熔点测定仪对产品进行了检测,用红外光谱仪和元素分析仪等对产品进行了表征。
- 王全忠王筠豆瑞霞
- 关键词:酰胺化合物赖氨酸
- 药物中间体2-氯-4-氨基吡啶的合成研究被引量:1
- 2013年
- 以2-氯吡啶为原料,采用"一锅法"经N-氧化、混酸硝化制得2-氯-4-硝基吡啶-N-氧化物,产率为85.8%;产物进一步还原得到2-氯-4-氨基吡啶,产率为86.7%。通过熔点测试、红外分析、MS、元素分析等手段对合成的化合物表征,结果表明所得的产物结构正确。
- 李全良王筠李书静
- 关键词:中间体
- 超声辅助提取红枣中芦丁的工艺研究被引量:6
- 2013年
- 在超声辅助下提取红枣中的芦丁,以芦丁提取率为评价指标考察了超声提取温度、提取时间和料液比等因素对芦丁得率的影响。正交试验结果表明最佳提取工艺:用体积分数95%的乙醇为溶剂时,超声提取温度60℃,时间20 min,料液比1:20时,得率最高24.2%。
- 王筠李全良刘芳
- 关键词:超声法红枣芦丁
- 生活饮用水中的余氯检测被引量:4
- 2014年
- 利用DPD分光光度法测定生活饮用自来水的余氯含量。研究了不同浓度标准溶液吸光度随测定时间和温度的变化关系,从而确定了适宜的测定条件:测定时间10min以内,温度20℃。
- 弥平王筠
- 关键词:生活饮用水余氯
- 离子液体催化“一锅法”反应合成3,4-二氢嘧啶-2-酮被引量:5
- 2012年
- 利用离子液体催化剂1-戊基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐(PmimBF4),在无溶剂加热条件下一锅法经Biginelli反应合成3,4-二氢嘧啶-2-酮。该合成法优化了反应条件,收率高、操作简单、环境友好且离子液体可循环多次使用。
- 王筠刘芳
- 关键词:离子液体一锅法BIGINELLI反应
- 一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究被引量:1
- 2014年
- 以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。
- 王筠杨欢欢李全良谢建平
- 关键词:光刻技术
- Al_2O_3-C复合载体的制备及表征
- 2017年
- 采用混捏的方法,以活性碳为原料制备了氧化铝-活性炭载体,并通过傅立叶红外光谱、X射线衍射及N_2吸附对复合载体的酸性和表面物相进行表征。结果表明,复合载体的酸性高于单纯的氧化铝载体和活性炭载体,粘结剂用量越多载体机械强度越强,但是孔径和比表面积越小,其XRD图谱中杂质峰越多。
- 刘芳王筠李全良王小光
- 关键词:活性炭载体粘结剂