2024年12月27日
星期五
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李培咸
作品数:
164
被引量:182
H指数:6
供职机构:
西安电子科技大学
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郝跃
西安电子科技大学微电子学院微电...
许晟瑞
西安电子科技大学
周小伟
西安电子科技大学技术物理学院
张进成
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
马晓华
西安电子科技大学微电子学院微电...
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2008
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2007
3篇
2006
8篇
2005
共
164
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基于c面蓝宝石衬底上N面黄光LED结构及其制作方法
本发明公开了一种基于c面蓝宝石衬底上N面黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是:1)对c面蓝宝石进行热处理;2)在热处理后衬底上生长厚度为10‑200nm的低温成核层;3)在成核层上生长厚度为0.2‑100μm,Si掺...
许晟瑞
郝跃
任泽阳
张进成
李培咸
姜腾
蒋仁渊
牛牧童
文献传递
高亮度GaN蓝光LED技术
郝跃
李培咸
张进城
冯倩
谢永桂
过润秋
张国华
王省莲
王冲
周小伟
杨燕
马晓华
龚欣
张金凤
陈军峰
该技术包含GaN材料生长用MOCVD设备制造技术和高亮度GaN蓝光LED制造技术。研制了MOCVD设备及恒流配气技术、MOCVD系统控制软件、P型GaN大气退火技术、InGaN/GaN多量子阱结构温度条件钝化工艺、InG...
关键词:
关键词:
GAN材料
MOCVD设备
蓝光LED
基于m面Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>图形衬底的半极性AlN薄膜及其制备方法
本发明公开了一种基于m面Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬底的半极性AlN薄膜及制备方法,主要解决现有技术工艺复杂,制作周期长和费用昂贵的问题。该薄膜自下而上包括:200‑500μm厚的m面Al<S...
许晟瑞
赵颖
范晓萌
李培咸
牛牧童
张进成
林志宇
姜腾
郝跃
基于MOCVD生长的高Al组分Al_xGa_(1-x)N的HRXRD研究
被引量:2
2009年
通过MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上异质外延了不同Al组分含量的AlxGa1-xN材料,生长过程中采用了低温缓冲层技术、脉冲原子外延技术(PALE)和多层超晶格缓冲技术,例如AlGaN/AlNSLs结构,成功得到了表面光滑无裂纹的AlxGa1-xN膜。并且通过HRXRD对材料进行了多个晶面方向上的摇摆曲线和2θ~ω表征测试,在此测试基础上对材料的Al组分、a轴和c轴的晶格常数以及位错密度进行了相应的计算,并定性的分析了材料的应变状态。
杜阳
李培咸
周小伟
白俊春
关键词:
ALXGA1-XN
HRXRD
晶格常数
基于蓝宝石衬底的AlGaN基多量子阱uv-LED器件的制作方法
本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的AlGaN基uv-LED器件及其制作方法,它涉及到微电子技术领域。该器件自下而上依次包括低温AlN成核层(2)、高温AlN成核层(3)、本征AlGaN外延层(4)、n-AlGaN势垒层(5...
郝跃
杨凌
马晓华
周小伟
李培咸
文献传递
基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED材料及其制作方法
本发明公开了一种基于c面蓝宝石衬底上Ga极性黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是:1)对c面蓝宝石进行热处理;2)在热处理后衬底上生长厚度为10-200nm的低温成核层;3)在成核层上生长厚度为0.2-100μm,S...
许晟瑞
郝跃
任泽阳
张进成
李培咸
姜腾
蒋仁渊
张金风
文献传递
一种易剥离高结晶质量的铝钪氮薄膜及其制备方法
本发明提供的一种易剥离高结晶质量的铝钪氮薄膜及其制备方法,本发明使用溅射方法、MOCVD方法或MBE方法在转移在蓝宝石的二维BN层上生长AlScN薄膜,提高了可剥离性,并通过高温退火工艺提高了材料的质量,因此本发明的易剥...
周小伟
冯宸宇
李培咸
杨雪
马晓华
文献传递
基于m面蓝宝石衬底上半极性(11-22)黄光LED材料及其制作方法
本发明公开了一种基于m面蓝宝石衬底上半极性(11-22)黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是:1)将m面蓝宝石衬底置于MOCVD反应室中进行热处理;2)在热处理后的衬底上生长厚度为10-200nm的低温成核层;3)在...
许晟瑞
郝跃
任泽阳
张进成
李培咸
姜腾
蒋仁渊
孟锡俊
文献传递
GaN基光电器件材料生长方法研究
III族氮化物半导体材料以其优异的特性正在发挥着越来越广泛的作用。以GaN基蓝光、绿光及深紫外LED为核心技术的半导体照明技术正在引领着一场新的产业革命。经过近十几年的发展,GaN基蓝光LED已成功实现商业化,在景观灯、...
李培咸
关键词:
MOCVD
氮化铝
铝镓氮
铟镓氮
掺杂
发光二极管
一种具有高发射率的β射线三维发射源、制备方法及应用
一种具有高发射率的β射线三维发射源,包括具有三维金字塔结构的柔性衬底,柔性衬底表面修饰高分子黏附层,高分子黏附层通过分子官能团与金属颗粒间分子作用力,将金属<Sup>63</Sup>Ni颗粒吸附于柔性衬底表面;制备方法为...
张璐
吴巍炜
杜韬
李培咸
张永峰
韩运成
董怡晴
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