崔芳
- 作品数：54 被引量：81H指数：5
- 供职机构：北京理工大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程航空宇航科学技术理学更多>>
- 一种石英音叉陀螺中的耦合信号抑制电路
- 本发明为一种石英音叉陀螺中的耦合信号抑制电路，其中石英音叉敏感极输出的信号通过静态耦合抑制电路后，呈共模状态的静态耦合信号被有效抑制，有用信号和差模干扰信号信号被放大；静态耦合抑制电路输出信号通过相位调节后使机械耦合信号...
- 赵伟冯立辉崔芳孙雨南
- 文献传递
- 石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析被引量：1
- 2008年
- 加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸误差较大。采用有限元法建立了引入工艺误差的仿真模型,得到的仿真结果更接近实际测试数据。质量平衡调节可以有效地补偿工艺误差,消除机械耦合误差,提高石英音叉陀螺的性能。
- 路文一崔芳闫海冯立辉孙雨南
- 关键词：石英音叉化学腐蚀有限元法
- 石英音叉微细加工若干问题探讨被引量：6
- 2004年
- 采用基于半导体工艺的光刻、化学腐蚀等微细加工方法在石英晶体基片上批量制作石英音叉。化学腐蚀石英音叉时,叉指的一个侧面中央有棱角,腐蚀速率先慢后快有利于棱角的消除,但去掉棱角的主要方法是增加腐蚀时间;实验探索了能够耐受长时间腐蚀液浸泡的Cr/Au掩模的制作方法和工艺,成功地腐蚀出石英音叉样品;选用黑白反相的十字套准标记进行石英音叉图形的双面光刻套准可以减小人为对准误差,腐蚀出的双面音叉图形的套准精度可小于3μm。石英晶体结构的三角对称性和Cr/Au掩模的耐腐蚀性是限制微细加工制作石英音叉达到理想形状的关键。
- 唐琼崔芳廖兴才孙雨南
- 关键词：石英音叉化学腐蚀
- Ti：LiNdO3波导的折射率计算与测量被引量：3
- 2002年
- Ti：LiNdO3光波导器件在光纤通信、光纤传感、信息光学以及非线性光学领域有着重要而广泛的应用。可调谐滤波器是下一代光通信网络中重要的器件，可用来构成动态的OADM，集成光波导声光可调谐滤波器（IAOTF）是实现此种功能的最具潜力的器件之一。该器件需要在X切Y传的Ti：LiNdO3晶片上采用Ti扩散技术完成。对于可调谐滤波器的设计而言，具有低损耗、单模传输、高质量的光波导是非常重要的。因此必须研究扩散波导的折射率分布以及它与波导参数之间的关系。现有文献多只给出Z切LiNdO3波导的折射率在不同扩散参数下的分布。而对X切Y传的LiNdO3波导折射率未作讨论。在其他扩散条件都一定条件下，可以认为不同切向下扩散波导折射率变化。只是由于不同切向下扩散常数不同造成的，所以本文提出用Z切下折射率分布修正X切下的折射率。本文通过两种不同的方法分别计算了X切Ti：LiNdO3波导折射率随扩散条件的变化规律。从计算的结果可以验证Z切下折射率分布修正X切下的折射率的方法是可行的。其中方法二还可以计算扩散波导的有效折射率。并用棱镜耦合方法测量有效折射率，通过有效折射率计算出折射率差。并对两种方法得到的结果进行了分析比较。
- 崔建民冯立辉崔芳孙雨南
- 关键词：铌酸锂晶体折射率计算方法测量方法光插分复用器光通信
- 提高石英音叉陀螺驱动信号稳定性的数字电路设计被引量：1
- 2012年
- 石英音叉陀螺通常采用模拟解调电路,现有模拟电路驱动电路幅度稳定性不高,限制了石英音叉陀螺整机性能,可以采用数字电路提高驱动幅度稳定性。文中先讨论了驱动信号幅度影响石英音叉陀螺性能的原因;然后设计了数字电路,采用数字信号处理算法实现了数字电路闭环驱动,并对数字电路闭环驱动的自动增益控制误差进行了分析;最后,对模拟电路和数字电路的驱动幅度稳定性进行了对比测试,定温情况下,模拟电路驱动幅度稳定性的均方差为4.77×10-4V,数字电路的幅度稳定性的均方差达到8.26×10-5V,模拟电路幅度稳定性在全温范围的均方差为0.0680 V,数字电路的均方差仅为0.0006V。实验表明,数字电路的驱动信号幅度稳定性显著提高。
- 冯立辉王健张志雄孙雨南崔芳
- 关键词：石英音叉陀螺驱动电路数字电路
- 离子交换制作微透镜阵列交换电场的研究
- 1996年
- 采用二元扩散理论分析离子流场，建立了电场辅助离子交换理论模型．借助计算机数值求解离子交换扩散方程，比较了单微透镜和微透镜阵列两种情况的电场分布，讨论了电场参数变化对微透镜形成的影响．
- 孙雨南刘进崔芳熊剑秦秉坤
- 关键词：微透镜阵列离子交换
- 双H石英MEMS陀螺静电耦合分析与消除方法
- 因为石英陀螺芯片加工的工艺难度较大，因此成品率一直不高。双H型石英音叉陀螺因为转动轴不同，可以大大减少工艺难度，是新型的石英陀螺。耦合误差是影响石英音叉陀螺的重要因素，对耦合误差的深入分析是提高陀螺性能的关键。但是因为结...
- 冯立辉孙雨南崔芳
- 微型石英音叉陀螺模态特性的设计被引量：2
- 2002年
- 微型石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件,采用ANSYS软件建立了微型石英音叉的实体模型,对其进行了压电振动模态分析,依据计算结果设计制作了微型石英音叉陀螺样片,实测值与计算结果相吻合,证明了这一分析方法的实用性。
- 王莹孙雨南秦秉坤崔芳
- 关键词：石英音叉陀螺模态分析有限元法
- 硅微机械F-P腔可变衰减器
- 本文介绍了一种新型的硅微机械F-P腔可变衰减器,针对其性能从机械结构、电场等几方面进行了分析.
- 欧毅孙雨南崔芳
- 关键词：衰减器
- 文献传递
- 离子束溅射镀膜技术研究被引量：3
- 1992年
- 本文介绍了离子束溅射镀膜原理,对淀积束率与离子能量、束流密度的关系进行了实验研究。实验结果与理论分析有较好的一致性。
- 孙雨南崔芳
- 关键词：离子束溅射镀膜集成光学
