宋亦旭
- 作品数：84 被引量：257H指数：8
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术文化科学更多>>
- 大型复杂曲面钢板水火加工智能机器人控制系统
- 本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及大型复杂曲面钢板水火加工智能机器人控制系统。整个系统包括执行机构、控制器两部分；执行机构包括工业控制计算机、伺服单元、外部信号采集及控制单元、测量单元、步进单元、自动调高子系统、控制...
- 赵雁南杨泽红左锦宇宋亦旭王家廞贾培发慕强郑大念操先良孙发杰
- 文献传递
- 仿人柔性灵巧手及其手指关节
- 本公开实施例提供的仿人柔性灵巧手及其手指关节，手指关节包括：设有供弯折键绳穿过的键绳槽孔的指节，连接在相邻的两指节之间并设置在靠近指背侧的指节的端面上的弹簧钢片，具有向指背侧凸起的C形横截面，用于为处于向指腹侧弯折的所述...
- 方斌孙富春宋亦旭
- 结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法
- 2014年
- 刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型不够精确,且目前离子刻蚀产额模型主要来自分子动力学仿真和物理实验,而实际加工过程十分复杂,等效的离子刻蚀产额包含很多因素.针对这些问题,首先对当前的刻蚀表面演化模型进行改进,同时重新定义了离子刻蚀产额模型的优化目标,并利用实际刻蚀加工数据来优化离子刻蚀产额模型.为缩短优化模型所用时间,采用并行方法来加速优化过程.最后,将得到的离子刻蚀产额模型参数应用于采用元胞自动机法的刻蚀工艺实际仿真过程中.实验结果表明,该优化建模方法确实提高了仿真的精确度,同时优化过程所用时间也大大减少.
- 高扬福孙晓民宋亦旭阮聪
- 关键词：刻蚀速率多目标进化算法
- 基于元胞自动机的刻蚀表面演化模型压缩方法
- 本发明涉及一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域；该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，首先对各部分的材料元胞进行属性定义，分别定义了单个元胞材料编码和整体材料编码；然后...
- 宋亦旭郑树琳孙晓民
- 文献传递
- 机器人指尖装置和具有它的机器人手指
- 本公开提出的一种机器人指尖装置和具有它的机器人手指。所述机器人指尖装置包括：磁性软体，所述磁性软体具有密闭容纳腔，所述密闭容纳腔内填充有刚度调节介质，所述刚度调节介质用于通过所述密封容纳腔的容积变化改变所述磁性软体的刚度...
- 方斌孙富春夏子炜宋亦旭
- 文献传递
- 基于影像引导的计算机辅助肝癌微波消融被引量：16
- 2011年
- 为了方便临床医生使用医学影像进行手术的规划和引导,提出了一种新颖的计算机辅助肝癌微波消融手术方法.采用基于GPU加速的三维可视化技术实时重构影像的三维模型,显示出患者器官的解剖关系;采用基于生物传热学的三维热场计算技术,规划手术路径及消融设备的作用时间和功率.经过大量的临床应用以及手术影像对比,表明该方法能够有效计算消融手术的作用效果,并在手术的引导过程中发挥了重要的作用,提高了手术的临床精度和效果.
- 翟伟明盛林宋亦旭赵雁南王宏贾培发
- 关键词：计算机辅助手术微波消融手术计划
- F等离子体刻蚀Si中Lag效应的分子动力学模拟被引量：2
- 2013年
- 通过分子动力学模拟的方法对感应耦合等离子体刻蚀中Lag效应的产生机理进行了研究.研究结果表明,在刻蚀过程中普遍存在Lag效应,宽槽的刻蚀率明显比窄槽的刻蚀率要高,这是由于宽槽更有利于产物从槽中的逸出;窄槽中产物从槽中逸出的速率较低,较多的产物拥挤在窄槽中降低了入射的F等离子体入射的速度,从而降低了F等离子体到达Si表面的能量,而相同条件下,刻蚀率随能量的降低而降低;另一方面,窄槽中入射的等离子体与槽壁的距离较近,使得入射的F更容易与槽壁表面的Si的悬挂键结合沉积在槽壁表面,使刻蚀出的槽宽度变窄,进一步影响到后继粒子的入射;Lag效应随槽宽的减小而增强,随温度的升高而减弱,随入射粒子能量的升高而增强.
- 王建伟宋亦旭任天令李进春褚国亮
- 关键词：分子动力学刻蚀
- 基于人工情感的拟人机器人控制体系结构被引量：19
- 2004年
- 简要概括了当前人工情感的应用 ,提出一种基于人工情感的拟人机器人控制体系结构 ,并给出了仿真示例 .基于情感的控制结构具有混合分层的特点 ,情感状态影响到机器人的整个信息处理过程 .这种结构不仅体现了机器人的个性化 。
- 宋亦旭贾培发
- 关键词：人工情感拟人机器人
- 片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法
- 本发明涉及片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。硅片状态检测方法为：设置光强阈值I<Sub>0</Sub>、I<Sub>1</Sub>，实时检测任一传感器对的光强为I<Sub>S1</Sub>，若I...
- 宋亦旭赵雁南杨泽红王家钦李世昌贾培发邓志东
- 文献传递
- 一种轮式移动机器人实时速度估计方法被引量：2
- 2005年
- 环境和机器人自身的不确定性影响轮式移动机器人的轨迹跟踪控制性能,此时仅仅使用里程计往往不能正确表达机器人的状态信息。在无速度传感器的情况下,讨论了使用加速度传感器和位置传感器的输出实时估计轮式移动机器人的速度。首先使用滑模观测器进行里程计信号处理,然后对车体加速度信号进行带通滤波提取车体扰动信息,通过频域融合信号表达轮式移动机器人的速度,并针对正交轮式全方位移动机器人进行了轨迹跟踪控制研究。试验结果表明采用融合数据可以更准确提供机器人的状态信息并得到更好的控制性能。
- 宋亦旭贾培发谈大龙
- 关键词：移动机器人跟踪控制
