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孟瑞丽

作品数：28 被引量：30H指数：4
供职机构：南京信息工程大学更多>>
发文基金：江苏省高校自然科学研究项目江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...

主题

  • 18篇微机械
  • 15篇感器
  • 15篇传感
  • 15篇传感器
  • 13篇加速度
  • 13篇加速度计
  • 6篇电场传感器
  • 5篇自激
  • 5篇微机械传感器
  • 4篇支撑梁
  • 4篇同频
  • 4篇同频干扰
  • 4篇微机械电子系...
  • 4篇结构层
  • 4篇Z轴
  • 3篇电场
  • 3篇电场线
  • 3篇电路
  • 3篇多晶
  • 3篇多晶硅

机构

  • 28篇南京信息工程...
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 28篇孟瑞丽
  • 28篇刘恒
  • 9篇孙冬娇
  • 8篇李敏
  • 6篇刘清惓
  • 6篇张宏群
  • 4篇宋安
  • 3篇周鹏
  • 2篇张加宏
  • 2篇陆倩倩
  • 1篇王冕
  • 1篇许辰
  • 1篇熊丰
  • 1篇倪波
  • 1篇周吴

传媒

  • 5篇传感技术学报
  • 2篇仪表技术与传...
  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇南京信息工程...
  • 1篇第23届过程...

年份

  • 7篇2015
  • 6篇2014
  • 10篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
共 28 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于PWM技术的微机械陀螺闭环驱动控制
为了解决目前微机械振动陀螺恒幅驱动中的自动增益控制的直流参考电压源对振动幅度的影响问题。本文提出了在高品质因数下，采用基于脉冲宽度调制(PWM)技术的陀螺自激驱动方案，根据方案建立了系统行为分析模型，鉴于系统的高阶弱非线...
刘恒孟瑞丽周吴宋安
关键词：微机械陀螺闭环控制
文献传递
一种微机械谐振式加速度计的自激驱动控制被引量：2
2012年
为了研制谐振微机械加速度计,文中介绍了静电刚度的谐振式微加速度计的工作原理,并根据闭环控制要求,建立了基于自激原理的系统分析方程,利用平均周期法分析了系统稳定性和振动幅度稳态平衡点。理论分析确定了系统起振条件和相位偏差对闭环振幅和频率的影响。对基于体硅溶片制造和真空封装的谐振微加速度计,自激闭环测试结果表明检测电压1 V时,灵敏度为18 Hz/g;检测电压5 V时,灵敏度为58 Hz/g,10 min内闭环谐振频率最大漂移0.2 Hz,可分辨加速度约3.5 mg.
刘恒孟瑞丽
关键词：微加速度计谐振自激
Z轴电容式微机械加速度计
本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单...
刘恒宋安孟瑞丽周鹏
文献传递
一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法
本发明公开了一种硅微机械结构振动幅度的电学测量方法，属于微机械结构位移测量的技术领域。所述测量方法利用动态信号分析仪得到以正弦交流调制电压频率为中心的单边带频谱，由相邻两个单边带电压幅值比得到振动幅度比，结合测量的检测平...
刘恒孟瑞丽刘清惓李敏
文献传递
电容式微机械加速度计
本实用新型公开了电容式微机械加速度计，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活...
刘恒于步云孟瑞丽孙冬娇
文献传递
一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法
本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结...
刘恒孟瑞丽孙冬娇李敏
文献传递
Z轴电容式微机械加速度计
本实用新型公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个...
刘恒宋安孟瑞丽周鹏
文献传递
一种扭转谐振式微加速度计
本实用新型涉及一种扭转谐振式微加速度计。所述扭转谐振式微加速度计包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层。机械结构层包括：分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块。第一质量块、第二质量块...
孙冬娇孟瑞丽刘恒李敏
文献传递
一种静电驱动微机械谐振传感器的接口电路及应用被引量：4
2015年
针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量,文中介绍了一种读取接口电路,采用了高频方波对振动信号进行调制,模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例,接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致,并利用接口电路和频率扫描方法成功测得微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 k Hz,品质因数为1863。
孟瑞丽刘恒张宏群
关键词：谐振传感器接口电路解调品质因数
一种谐振式微加速度计表芯非线性动力学分析及实验被引量：2
2012年
在研制基于静电刚度谐振式微加速度计过程中,发现增大激励电压可以提高输出信噪比,但响应的振动幅度将不稳定,同时谐振频率也将会出现漂移。针对上述问题,建立了静电驱动微机械谐振系统等效行为模型,非线性动力学理论分析结果与实验现象一致,总结出需要从加速度计结构参数优化和减小激励电压两个方面来减小频率漂移和提高分辨率。将结构优化准则应用到制造的微加速度计上,实验结果表明:在5 V敏感电压下,闭环条件下单梁加速度计灵敏度为58 Hz/g,分辨率为3.5 mg。
刘恒刘清惓孟瑞丽
关键词：微加速度计谐振器非线性频率漂移
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