伍文杰
- 作品数：42 被引量：11H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程天文地球更多>>
- 高精度、大动态范围MEMS加速度计探头研制
- <正>地球是人类的家园,地球的性质和变化,对人类有着巨大的影响。然而,要直接观察地球的内部结构及其变化并不现实,通过测量它产生的重力场来反演判断地球内部状况是人们的通常选择。加速度计是这些测量系统的核心部件之一,在地质勘...
- 伍文杰朱涛张文婷王超刘金全涂良成
- 关键词：加速度计大动态范围
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- 一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法
- 本发明提供了一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法，属于仪器仪表领域，方法为：将加速度信号转换为位移信号；平行板电容动极板移动，与对应的两个平行板电容定极板形成差分电容；在平行板电容动极板上施加偏置电压，将差分...
- 伍文杰李方正高乐蔡冰洋涂良成
- 一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构
- 本发明公开了一种MEMS准零刚度的弹簧振子结构，包括：多组对称布置的弹簧单元，连接梁和检验质量；弹簧单元在重力作用下受到检验质量的重力产生的压应力和拉应力的作用后刚度接近为零；连接梁用于增大弹簧振子的交叉轴刚度。本发明中...
- 伍文杰涂良成刘骅锋刘丹丹
- 文献传递
- 高精度、大动态范围MEMS加速度计探头研制
- 地球是人类的家园,地球的性质和变化,对人类有着巨大的影响.然而,要直接观察地球的内部结构及其变化并不现实,通过测量它产生的重力场来反演判断地球内部状况是人们的通常选择.加速度计是这些测量系统的核心部件之一,在地质勘查、矿...
- 伍文杰朱涛张文婷王超刘金全涂良成
- 关键词：地球物理勘探电容式加速度计优化设计
- 文献传递
- 微米间距非牛顿引力实验检验
- 自然界四种基本相互作用中，引力由广义相对论描述，电磁力、强和弱力由粒子物理的标准模型来描述。如何统一这四种基本相互作用是物理学家努力的一个方向，在此过程中提出的很多非标准模型都预言了近间距非牛顿引力的存在。这些理论预言需...
- 罗鹏顺王建波官盛果田照阳伍文杰杨山清罗俊
- 关键词：引力实验
- 一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法
- 本发明公开了一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法，主要包括以下步骤：(1)处理SOI片：在SOI片的器件层上制作驱动电容极板和封装凸点，采用深硅刻蚀工艺加工刻蚀槽直至SOI片的牺牲层，完成硅基检验质量块和弹...
- 刘骅锋涂良成宋萧萧渠自强伍文杰
- 文献传递
- 一种深硅刻蚀方法
- 本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环...
- 涂良成伍文杰范继刘金全罗俊
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- 一种封装间距可高精度控制的MEMS封装结构及封装方法
- 本发明公开一种封装间距可高精度控制的MEMS封装结构及封装方法，包括：硅基底、限位装置、第一封装环、上盖帽以及第二封装环，限位装置的高度大于第一封装环和第二封装环的高度之和；限位装置和第一封装环设置在硅基底上，第二封装环...
- 范继伍文杰涂良成刘金全邱文瑞
- 基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪
- 本发明公开了一种基于双路错位阵列电容位移传感的闭环MEMS重力仪探头及重力仪，属于仪器仪表领域。探头包括：电容位移传感模块、电容检测电路模块、PID控制模块及反馈执行机模块，且这几个模块构成磁闭环回路。电容位移传感模块包...
- 伍文杰高乐李方正涂良成
- 一种基于内外双层交错悬臂梁的MEMS惯性传感器微机械结构
- 本发明属于惯性仪表领域，具体涉及一种基于内外双层交错悬臂梁的MEMS惯性传感器微机械结构，包括：敏感单元，悬臂梁组件，以及固定框架；悬臂梁组件包括：套设在敏感单元外周的连接环，径向连接在连接环与敏感单元之间的沿着连接环圆...
- 伍文杰方偲媛詹韩雯钰
