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于浩
作品数:
13
被引量:3
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
医药卫生
电气工程
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合作作者
蒋玉龙
复旦大学
屈新萍
复旦大学
李炳宗
复旦大学
茹国平
复旦大学
张卫
复旦大学
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机构
13篇
复旦大学
作者
13篇
于浩
10篇
茹国平
10篇
李炳宗
10篇
屈新萍
10篇
蒋玉龙
6篇
张卫
3篇
王井舟
2篇
谢琦
年份
1篇
2013
5篇
2012
5篇
2011
1篇
2008
1篇
1994
共
13
条 记 录,以下是 1-10
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制备可测量MOS电容器低频CV曲线的器件结构的方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种制备可以测量金属-氧化物-半导体(MOS)电容器低频电容-电压(CV)特性的器件结构的自对准工艺方法。该方法采用自对准工艺制作一种简易的源漏短接MOSFET结构,将源漏接地或者电源,...
于浩
蒋玉龙
茹国平
屈新萍
李炳宗
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一种工艺优化的金半接触结构的制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种工艺优化的金半接触结构的制备方法。本发明利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩膜,采用高、低两种不同功函数金属淀积金半接触结构。由于PS微球结构稳定,单层膜易于制备,通过单层密布的PS微球作为...
蒋玉龙
于浩
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
文献传递
具有尖峰状底电极的有机阻变存储器及其制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种具有尖峰状底电极、平整顶电极的有机阻变存储器(RRAM)及其制备方法。本发明首先制备尖峰图形的衬底,然后依次淀积底电极、旋涂有机介质层、淀积顶电极,最终形成具备尖峰状底电极的有机RR...
于浩
王井舟
蒋玉龙
茹国平
屈新萍
李炳宗
基于能量的声源目标定位与跟踪
随着无线通信、集成电路、传感器以及微机电系统(MEMS)等技术的飞速发展,无线传感器网络已逐渐成为研究的热点领域。传感器网络主要运用于军事,生态环境监测,基础设施安全,先进制造,物流管理,医疗健康,工业传感,智能交通控制...
于浩
关键词:
无线传感器网络
最大似然
EM
文献传递
一种基于PEDOT:PSS的有机动态随机存储器及其制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种基于PEDOT:PSS材料的有机动态随机存储器及其制备方法。本发明通过在衬底材料上依次淀积底电极Au、介质层PEDOT:PSS以及顶电极Au,形成结构为Au/PEDOT:PSS/Au...
于浩
蒋玉龙
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
文献传递
金属半导体接触界面的调制研究
随着集成电路向着不断微缩化的方向发展,对具有高迁移率的半导体材料的研究日益密切。然而,由于工艺原理等方面的差异,新型高迁移率半导体材料的应用还存在着诸多困难,而金半接触结构即是诸多困难之一。因而,如何解决新型高迁移率半导...
于浩
关键词:
半导体材料
文献传递
具有尖峰状底电极的有机阻变存储器的制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种具有尖峰状底电极、平整顶电极的有机阻变存储器(RRAM)及其制备方法。本发明首先制备尖峰图形的衬底,然后依次淀积底电极、旋涂有机介质层、淀积顶电极,最终形成具备尖峰状底电极的有机RR...
于浩
王井舟
蒋玉龙
茹国平
屈新萍
李炳宗
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通过N型半导体局部表面能级解钉扎优化金半接触结构的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种通过N型半导体衬底局部表面费米能级解钉扎优化金半接触结构的方法。本发明利用PS微球作为掩膜,将单层密布的PS微球作为模板,结合反应离子刻蚀技术,对半导体衬底进行刻蚀形成期望的图形。进而...
于浩
蒋玉龙
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
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金属铜与镍硅化合物的的叠层接触结构及其制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种提升铜与镍硅化合物直接接触热稳定性的叠层接触结构。因为铜的导电性比钨好,因此在集成电路芯片第一层互连线与晶体管源、漏、栅极所用的镍硅化合物电极间可以利用铜塞替代传统钨塞。本发明具体采...
蒋玉龙
于浩
谢琦
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
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江湖洲滩地区血吸虫病防治不同策略的费用—效果分析
于浩
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