马靖
- 作品数：7 被引量：8H指数：2
- 供职机构：天津理工大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法被引量：6
- 2005年
- 提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01μm。若采用有效电极直径Φ1 mm传感头,测量精度可达0.001μm。通过理论分析和实验证实,该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数,不需特殊制备样件,是非接触测量,测量方法简单、成本低。因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量。
- 陈希明马靖徐晟吴小国孙大智杨保和
- 关键词：多层膜结构薄膜厚度平面度测量测量电压传感头空气隙
- 多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法
- 本发明公开了一种多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法，该方法首先确定被测膜样片的测量系数k，再测定该被测膜样片的总厚度h，然后计算被测薄膜层的厚度h<Sub>film</Sub>＝h<Sub>基片</Sub>－...
- 杨保和陈希明吴小国马靖
- 文献传递
- 2.5GHzSiO_2/ZnO/IDT/金刚石膜SAW滤波器的研究
- 杨保和陈希明王芳马靖孙大智常明
- 成功设计并集成了ZnO/IDT/金刚石的多层膜结构声表面波滤波器，其中心频率相对传统的材料LiNbO_3的SAW表面波滤波器中心频率大大提高。总之，利用金刚石膜独特的优异性能，采用目前半导体工业技术水平，制备叉指换能器(...
- 关键词：
- 关键词：滤波器金刚石膜
- 多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法
- 本发明公开了一种多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法，该方法首先确定被测膜样片的测量系数k，再测定该被测膜样片的总厚度h，然后计算被测薄膜层的厚度h<Sub>film</Sub>＝h<Sub>基片</Sub>-...
- 杨保和陈希明吴小国马靖
- 文献传递
- 多层结构高频声表面波器件的分析与研制
- 声表面波器件(SurfaceAcousticWaveDevice)是通讯系统中重要的器件之一。由于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦合系数、低传播损耗、高温度稳定性等特性。通过在压...
- 马靖
- 关键词：CVD金刚石膜声表面波传感器声表面波器件金刚石膜光学工程
- 文献传递
- 2.5GHz SiO2/ZnO/IDT/金刚石膜SAW滤波器的研究
- 杨保和陈希明吴晓国杨晓苹王芳马靖孙大智常明
- 成功设计并集成了ZnO/IDT/金刚石的多层膜结构声表面波滤波器，其中心频率相对传统的材料LiNbO_3的SAW表面波滤波器中心频率大大提高。总之，利用金刚石膜独特的优异性能，采用目前半导体工业技术水平，制备叉指换能器（...
- 关键词：
- 关键词：金刚石膜SAW滤波器
- 高性能无线无源声表面波(SAW)传感器研究
- 陈希明苏林杨晓苹熊瑛孙大智马靖吴轶卓徐晟杨保和
- 该项目提供适用于高频SAW无源传感器的金刚石膜/IDT/压电材料薄膜基片优化结构方案，构造了SAW无源无线传感虚拟仪器系统；提供SAW滤波器样件数件（最宽指宽d=1.7um，中心频率达到1.6GHz～2.5GHz）；主要...
- 关键词：
- 关键词：高性能传感器
