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陈开盛

作品数:7 被引量:2H指数:1
供职机构:上海交通大学更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇波导
  • 2篇消耗量
  • 2篇灵敏度
  • 2篇敏度
  • 2篇介质
  • 2篇介质薄膜
  • 2篇金属膜
  • 2篇棱镜
  • 2篇激光
  • 2篇激光光强
  • 2篇光强
  • 2篇反射光
  • 2篇高灵敏
  • 2篇高灵敏度
  • 2篇玻璃材料
  • 2篇波导结
  • 2篇波导结构
  • 2篇测量方法
  • 1篇电子领域
  • 1篇英寸

机构

  • 7篇上海交通大学
  • 1篇上海光刻电子...

作者

  • 7篇陈开盛
  • 4篇曹庄琪
  • 4篇方为军
  • 4篇窦晓鸣
  • 2篇袁波
  • 2篇陈洸

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2004
  • 1篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇1995
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
溶液浓度和吸收测量方法
溶液浓度和吸收测量方法利用激光入射到耦合器件—上层金属膜—样品腔—下层金属膜的波导结构中,其反射光强随溶液样品的浓度和吸收变化极为敏感的特性,通过监测反射光强的变化来测量溶液浓度和吸收。本发明具有实质性特点和显著进步,可...
曹庄琪陈洸方为军陈开盛窦晓鸣
文献传递
利用长程表面模确定渐变折射率平板光波导的折射率轮廓
陈开盛
光漂白对聚合物二次谐波和热光效应的影响研究
衰减全反射(ATR,Attenuated Total Reflection)技术,其反射光的空间强度和频谱成分会受到结构参数的影响和控制,反射光携带了结构本身的信息,它适合平面工艺,可通过表面等离子波增强,其波导介质样品...
陈开盛
关键词:衰减全反射非线性光学热光效应表面等离子共振二次谐波
文献传递
激光光强衰减方法
一种激光光强衰减方法,属于激光光电子领域。利用光束入射到一横截面为等腰梯形、上下底面镀有介质薄膜、折射率n为1.90>n>1.64玻璃材料的棱镜内部,当入射角从sin<Sup>-1</Sup>(1/n)逐步减小时,反射光...
曹庄琪袁波方为军陈开盛窦晓鸣
文献传递
63.5mmX127mm英寸UT 1X光刻版的设计及制造被引量:1
2004年
提出一种新的UT1X光刻版规格63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机。相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整。新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护。
粟鹏义陈开盛曹庄琪
关键词:光刻版数据处理
溶液浓度和吸收测量方法
溶液浓度和吸收测量方法利用激光入射到耦合器件-上层金属膜-样品腔-下层金属膜的波导结构中,其反射光强随溶液样品的浓度和吸收变化极为敏感的特性,通过监测反射光强的变化来测量溶液浓度和吸收。本发明具有实质性特点和显著进步,可...
曹庄琪陈洸方为军陈开盛窦晓鸣
文献传递
激光光强衰减方法
激光光强衰减方法主要是利用光束入射到一横截面为等腰梯形、上下底面镀有介质薄膜、折射率为:1.90&gt;n&gt;1.64玻璃材料的棱镜内部,在其上、下底面发生多次反射来实现对激光光强的衰减。本发明能实现对光强的连续可调...
曹庄琪袁波方为军陈开盛窦晓鸣
文献传递
共1页<1>
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